[发明专利]一种基于化学反应原理智能吹扫气体的干式真空泵及其使用方法

说明书

本发明公开了一种基于化学反应原理智能吹扫气体的干式真空泵及其使用方法，属于真空泵设备技术领域，包括第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板之间固定连接有第一固定板，第一固定板的上部放置有安装箱，第一支撑板和第二支撑板相靠近的一端均设置有支撑机构，安装箱的上侧设置有抽气机构，抽气机构通过支撑机构固定于第一支撑板和第二支撑板之间，第二支撑板的左侧设置有储存机构，储存机构用于存储维修工具，最终可以实现便于切换进气阀，便于不同气体通入，根据不同的尾气吹扫不同的气体，提高抑制尾气的效果。

技术领域

本发明涉及真空泵设备技术领域，更具体地说，涉及一种基于化学反应原理智能吹扫气体的干式真空泵及其使用方法。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

授权公开号“CN102762867B”记载了“具有吹扫气体系统的干式真空泵和吹扫方法，包括：多个真空抽汲级，其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构，以通过抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口；容纳支承传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室，传动轴通过润滑室的顶板的开口从高真空级延伸到润滑室 ；级间吹扫端口，气体能通过级间吹扫端口而在高真空级的下游的级间位置处进入泵，且仅传送通过级间端口的下游的真空抽汲级或各个真空抽汲级 ；位于润滑室中的润滑室吹扫端口，吹扫气体能通过润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出 ；其中级间端口连接到润滑室上，以控制润滑室中的吹扫气体的压力，从而阻止抽汲气体在使用期间通过顶板开口从高真空室传送到润滑室”。

上述专利存在以下缺点：该专利不能根据实际需要切换进气阀，不能根据不同的尾气吹扫不同的气体对尾气进行抑制。

发明内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种基于化学反应原理智能吹扫气体的干式真空泵及其使用方法，它可以实现便于切换进气阀，便于不同气体通入，根据不同的尾气吹扫不同的气体，提高抑制尾气的效果。

2．技术方案

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案：