[发明专利]微机电陀螺仪

说明书

本发明是有关一种微机电陀螺仪，其包含多个感测模块感测三轴向的角速度，多个外框设置于该些感测模块的外侧，多个驱动轴分别设置于该些外框之间，该些驱动轴分别以一第一可挠性连接件与一第二可挠性连接件连接二相邻外框，再由该些外框经多个传动元件连接该些感测模块，藉此提供三轴感测。

技术领域

本发明是有关一种传感器，尤其是一种微机电陀螺仪，其提供三轴角速度测定功能。

背景技术

微机电(Microelectromechanical Systems,MEMS)陀螺仪通常用于测定一系统于x-y-z坐标轴中每一轴在线的旋转运动，其中当一质量块沿着一轴向线性运动并且该承受一角速度时，该质量块得以感应到一科氏力(Coriolis Force)。该力驱使质量块在与该轴向垂直的方向上产生位移，进而供感测该质量块承受的角度速值。然而，该质量块无法感测与该轴向平行的旋转，因此如果要感测三轴角速度，至少必须提供二组沿不同方向运动的质量块，然而如何在微小的微机电构造中稳定驱动质量块沿不同方向运动，又能将微机电陀螺仪的成本控制在合理范围，同时还要避免噪声、非理想讯号影响感测结果，成为各家厂商亟欲解决的问题。

基于上述的问题，本发明提供一种微机电陀螺仪，其藉由外框耦合微机电陀螺仪所承受的外力，进而提高三轴测定的精确度，解决上述的问题。

发明内容

本发明的一目的，在于提供一种微机电陀螺仪，其藉由多个驱动轴设置于多个外框之间，该些驱动轴透过可挠性连接件连接所有外框，并由该些外框经多个传动件连接多个感测模块，故，所有外框经该些驱动轴所连接的可挠性连接件耦合，以耦合该些驱动轴所提供的外力。

本发明揭示了一种微机电陀螺仪，其包含多个感测模块，感测三轴向的角速度；多个外框设置于该些感测模块的外侧，经多个传动元件连接该些感测模块；以及多个驱动轴分别设置该些外框之间，该些驱动轴分别经一第一可挠性连接件与一第二可挠性连接件连接该些外框的二相邻外框。藉此，所有外框之间分别经该第一可挠性连接件与该第二可挠性连接件而耦合该些驱动轴所提供的外力，进而提高三轴测定的精确度。

附图说明

图1：其为本发明的微机电陀螺仪的一实施例的结构示意图；

图2：其为本发明的微机电陀螺仪的一实施例的驱动示意图；

图3：其为本发明的微机电陀螺仪的另一实施例的结构示意图；

图4：其为本发明的微机电陀螺仪的另一实施例的结构示意图；

图5：其为本发明的微机电陀螺仪的另一实施例的结构示意图；

图6：其为本发明的微机电陀螺仪的另一实施例的驱动示意图；以及

图7：其为本发明的微机电陀螺仪的另一实施例的结构示意图。

【图号对照说明】

1微机电陀螺仪

2微机电陀螺仪

10感测模块

10A第一感测模块

10B第二感测模块

12驱动结构

14质量块

142可挠性连接件

16第一感测元件

16A第一感测元件

16B第一感测元件

18第二感测元件

18A第二感测元件

18B第二感测元件

20外框