[发明专利]一种钛铝合金靶材及其焊接的方法有效
申请号: | 202010953029.7 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN112091401B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯新印;廖培君 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/14;B23K28/02;B23K33/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铝合金 及其 焊接 方法 | ||
1.一种钛铝合金靶材组件焊接的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层,在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板,形成装配组件,放入包套内,进行包套焊接;
(2)步骤(1)所述包套在脱气后,经扩散焊接,得到钛铝合金靶材组件;
步骤(1)中所述背板内设置有凹槽;
所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小;
所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板,以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板;
所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配;
所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一螺纹的螺纹间距为0.35~0.55mm。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一螺纹的深度为0.1~0.25mm。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述背板的焊接面设置有第二螺纹。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第二螺纹的螺纹间距为0.35~0.55mm。
7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第二螺纹的深度为0.1~0.25mm。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述纯铝中间层的铝纯度≥99wt%。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝中间层的厚度为2~4mm。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝盖板的铝纯度≥99wt%。
11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝盖板的上层板厚度≥9mm。
12.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述包套的材质为纯铝。
13.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述包套焊接包括:用氩弧焊将包套焊接。
14.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述包套脱气的真空度≤0.02Pa。
15.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述包套脱气的温度为250~450℃。
16.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述包套脱气的保温时间为2~5h。
17.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述扩散焊接的装置为热等静压机。
18.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接的温度为400~590℃。
19.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接的压力≥80MPa。
20.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接中保温保压的时间为2~5h。
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