[发明专利]一种钛铝合金靶材及其焊接的方法有效

专利信息
申请号: 202010953029.7 申请日: 2020-09-11
公开(公告)号: CN112091401B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯新印;廖培君 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23K20/02 分类号: B23K20/02;B23K20/14;B23K28/02;B23K33/00
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 铝合金 及其 焊接 方法
【权利要求书】:

1.一种钛铝合金靶材组件焊接的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层,在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板,形成装配组件,放入包套内,进行包套焊接;

(2)步骤(1)所述包套在脱气后,经扩散焊接,得到钛铝合金靶材组件;

步骤(1)中所述背板内设置有凹槽;

所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小;

所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板,以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板;

所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配;

所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一螺纹的螺纹间距为0.35~0.55mm。

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一螺纹的深度为0.1~0.25mm。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述背板的焊接面设置有第二螺纹。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第二螺纹的螺纹间距为0.35~0.55mm。

7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第二螺纹的深度为0.1~0.25mm。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述纯铝中间层的铝纯度≥99wt%。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝中间层的厚度为2~4mm。

10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝盖板的铝纯度≥99wt%。

11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述纯铝盖板的上层板厚度≥9mm。

12.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述包套的材质为纯铝。

13.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述包套焊接包括:用氩弧焊将包套焊接。

14.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述包套脱气的真空度≤0.02Pa。

15.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述包套脱气的温度为250~450℃。

16.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述包套脱气的保温时间为2~5h。

17.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述扩散焊接的装置为热等静压机。

18.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接的温度为400~590℃。

19.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接的压力≥80MPa。

20.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述扩散焊接中保温保压的时间为2~5h。

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