[发明专利]低噪声多轴微机电系统加速度计

权利要求书

1.一种两轴MEMS加速度计，包括：

基板，其限定基板平面；

检测质量块；以及

四个梳状电容器，其包括从所述检测质量块延伸的可移动梳状电极和锚定在下方的所述基板的中心处的固定梳状电极；

其中，所述检测质量块通过弹簧连接至多个悬挂器，所述悬挂器被锚定在下方的所述基板的中心处；

其中，所述四个梳状电容器被布置成两对梳状电容器；

其中，每对梳状电容器中的梳状电容器是关于映射轴映射的彼此的镜像；

所述两对梳状电容器的映射轴在下方的所述基板的中心处相交；

其中，第一对梳状电容器中的任一个梳状电容器包括：

第一组可移动梳状齿，其沿所述第一对梳状电容器的电容器轴在第一方向上远离所述检测质量块延伸，所述电容器轴平行于所述基板平面；

第二组可移动梳状齿，其沿所述第一对梳状电容器的电容器轴在与所述第一方向相反的第二方向上远离所述检测质量块延伸；

第一组固定梳状齿，其与所述第一组可移动梳状齿相对并且相互交叉，其中，所述第一组固定梳状齿在所述第二方向上朝向所述检测质量块延伸；以及

第二组固定梳状齿，其与所述第二组可移动梳状齿相对并且相互交叉，其中，所述第二组固定梳状齿在所述第一方向上朝向所述检测质量块延伸；

其中，第二对梳状电容器中的任一个梳状电容器包括：

第一组可移动梳状齿，其沿所述第二对梳状电容器的电容器轴在第三方向上远离所述检测质量块延伸，所述第二对梳状电容器的电容器轴垂直于所述第一对梳状电容器的电容器轴；

第二组可移动梳状齿，其沿所述第二对梳状电容器的电容器轴在与所述第三方向相反的第四方向上远离所述检测质量块延伸；

第一组固定梳状齿，其与所述第一组可移动梳状齿相对并且相互交叉，其中，所述第一组固定梳状齿在所述第四方向上朝向所述检测质量块延伸；以及

第二组固定梳状齿，其与所述第二组可移动梳状齿相对并且相互交叉，其中，所述第二组固定梳状齿在所述第三方向上朝向所述检测质量块延伸；

其中，在第一对梳状电容器中的任一梳状电容器中，所述检测质量块在所述第一方向上的移动使所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域增加并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域减少，并且其中，所述检测质量块在所述第二方向上的移动使所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域减少并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域增加；并且

其中，在第二对梳状电容器中的任一梳状电容器中，所述检测质量块在所述第三方向上的移动使所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域增加并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域减少，并且其中，所述检测质量块在所述第四方向上的移动使所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域减少并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域增加。

2.根据权利要求1所述的两轴MEMS加速度计，其中，所述检测质量块在所述第一方向上的移动使所述第一对梳状电容器中的所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域增加第一量并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域减少所述第一量，并且其中，所述检测质量块在所述第二方向上的移动使所述第一组可移动梳状齿与所述第一组固定梳状齿之间交叠的区域减少第二量并且使所述第二组可移动梳状齿与所述第二组固定梳状齿之间交叠的区域增加所述第二量。