[发明专利]一种砷掺杂三氧化二锰靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种砷掺杂三氧化二锰靶材及其制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

（1）将AsMn粉末和Mn₂O₃粉末混合均匀，得到混合料；

（2）将步骤（1）得到的混合料装入一包套中，将其放入热等静压炉进行烧结，随后降温出炉，即得到砷掺杂三氧化二锰靶材。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，AsMn粉末和Mn₂O₃粉末的质量比为3～5%:95～97%。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，AsMn粉末的粒度为-70目；Mn₂O₃粉末的粒度为-100目。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，混合操作为装入混料机中进行混合。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，装入包套后还包括以下步骤：将包套抽真空焊接密封。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，烧结工艺为先将炉体抽真空至绝对真空度低于10Pa，然后升温到600～650℃，保温30min，随后开始加压，压力达到75～80MPa后，继续保温30min～50min，最后升温至750～800℃，保温60-70min。

7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，升温至600～650℃的升温速率为6~8℃/min，升温至750～800℃的升温速率为2~3℃/min。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，降温出炉操作为随炉降温至小于300℃时开始泄压，降温到室温后，出炉。

9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括步骤（3），将步骤（2）所得的砷掺杂三氧化二锰靶材进行机械加工、研磨及抛光处理。

10.一种砷掺杂三氧化二锰靶材，其特征在于，该靶材采用权利要求1-9任一所述的砷掺杂三氧化二锰靶材的制备方法制备得到。