[发明专利]一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构在审
| 申请号： | 202010953788.3 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112048772A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 解永强;张红梅;柳森娟;唐宏波 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B11/02 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高压 单晶炉 上下 炉体锁紧 密封 结构 | ||
1.一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构，包括下炉体（1）和上炉体（3），上炉体（3）通过它的下端口错齿法兰盘（4）扣接在下炉体（1）的上端口错齿法兰盘（2）上，在下炉体（1）的炉底板中央处，设置有驱动轴伸出孔（24），其特征在于，在下端口错齿法兰盘（4）与上端口错齿法兰盘（2）之间，设置有带错齿锁紧圈（5），在带错齿锁紧圈（5）的锁紧齿上设置有楔形块（40），在下端口错齿法兰盘（4）与上端口错齿法兰盘（2）之间，分别设置有唇形密封圈（6）和O形密封圈（7）；在驱动轴伸出孔（24）中设置有动密封法兰盘（25），在动密封法兰盘（25）中活动设置有驱动轴（23），在动密封法兰盘（25）与驱动轴（23）之间，设置有轴密封圈（26），在动密封法兰盘（25）与驱动轴伸出孔（24）之间，设置有孔密封圈（27）。
2.根据权利要求1所述的一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构，其特征在于，在上炉体（3）的外侧炉壁上设置有上炉体水冷套（8），在下炉体（1）的外侧炉壁上设置有下炉体水冷套（19），在上端口错齿法兰盘（2）上设置有上端口错齿法兰盘循环水路（41）。
3.根据权利要求2所述的一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构，其特征在于，驱动轴（23）为空心轴，在驱动轴（23）内设置有螺旋状水冷通路（28），螺旋状水冷通路（28）的入水口和出水口均设置在驱动轴（23）的下端。
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