[发明专利]一种双向液态源蒸发CVD系统有效

专利信息
申请号: 202010953796.8 申请日: 2020-09-11
公开(公告)号: CN112342527B 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 孔令杰;李晓丽 申请(专利权)人: 安徽贝意克设备技术有限公司
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 刘生昕
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 双向 液态 蒸发 cvd 系统
【权利要求书】:

1.一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,包括蒸发装置主体(1),所述蒸发装置主体(1)的上方安装有加热炉(14)和石英外管(15),所述石英外管(15)贯穿至加热炉(14)的内部,所述石英外管(15)的上端靠近一侧的位置安装有压力表(13),所述压力表(13)位于加热炉(14)的一侧,所述石英外管(15)的内部安装有沉积内管(16),所述石英外管(15)的一侧设置有第二进出座(12),所述石英外管(15)的另一侧设置有第一进出座(3),所述蒸发装置主体(1)的两侧均安装有若干个三通阀(11),所述蒸发装置主体(1)靠近第一进出座(3)的一侧连接有双向液态源管道(4);

所述石英外管(15)的上端靠近另一侧的位置安装有真空规管(2),所述蒸发装置主体(1)的内部靠近上方的位置安装有滚珠丝杆(6)和伺服电机(9),所述滚珠丝杆(6)位于伺服电机(9)的一侧,所述双向液态源管道(4)和三通阀(11)均与沉积内管(16)连接;

所述蒸发装置主体(1)的上端安装有液态源蒸发罐(10)和预热装置(17),所述液态源蒸发罐(10)位于预热装置(17)的后方,所述预热装置(17)包含预热腔和加热电阻,该加热电阻位于预热腔的内表面,所述预热装置(17)与石英外管(15)之间连接有进气管。

2.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的内部靠近下方的位置安装有机械泵(7)和气体流量计(8),所述机械泵(7)位于气体流量计(8)的下方。

3.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的外表面靠近上方的位置设置有进气口(5),所述蒸发装置主体(1)的上表面安装有滑轨,所述加热炉(14)通过滑轨在蒸发装置主体(1)的上方左右滑动。

4.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述石英外管(15)的两侧均安装有法兰。

5.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的下端连接有若干个滑轮,所述蒸发装置主体(1)的后表面连接有显示屏。

6.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述加热炉(14)的上端设置若干个散热孔。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,该双向液态源蒸发CVD系统的工作步骤包括:

步骤一:通过第一进出座(3)和第二进出座(12)将液态源注入蒸发装置主体(1)内,确认蒸发装置主体(1)处于密封状态后,开启机械泵(7),对沉积内管(16)及蒸发装置主体(1)内的蒸发气管进行粗抽真空,通入氮气对沉积内管(16)及蒸发气管进行洗气后,再进行二次抽真空;

步骤二:保压后液态源蒸发罐(10)和保护气体的预热装置(17)同时开始升温,将保护气体充满石英外管(15)的内部来保护沉积内管(16),蒸发汽态源由左端开启的三通阀(11)进入沉积内管(16),加热炉(14)升温使得沉积内管(16)内的蒸发汽态源开始裂解沉积,

步骤三:移开加热炉(14),待沉积内管(16)降温后,重新开启加热炉(14),达到预设标准的温度后,开启蒸发装置主体(1)右端的三通阀(11),通入氮气,加热炉(14)回移至原始位置并升温,使得沉积内管(16)内的蒸发汽态源裂解沉积;

步骤四:通入氮气,将沉积内管(16)中残余气体排出,自然降温结束后,取出沉积内管(16)并取料。

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