[发明专利]一种双向液态源蒸发CVD系统有效
申请号: | 202010953796.8 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN112342527B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 孔令杰;李晓丽 | 申请(专利权)人: | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 刘生昕 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双向 液态 蒸发 cvd 系统 | ||
1.一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,包括蒸发装置主体(1),所述蒸发装置主体(1)的上方安装有加热炉(14)和石英外管(15),所述石英外管(15)贯穿至加热炉(14)的内部,所述石英外管(15)的上端靠近一侧的位置安装有压力表(13),所述压力表(13)位于加热炉(14)的一侧,所述石英外管(15)的内部安装有沉积内管(16),所述石英外管(15)的一侧设置有第二进出座(12),所述石英外管(15)的另一侧设置有第一进出座(3),所述蒸发装置主体(1)的两侧均安装有若干个三通阀(11),所述蒸发装置主体(1)靠近第一进出座(3)的一侧连接有双向液态源管道(4);
所述石英外管(15)的上端靠近另一侧的位置安装有真空规管(2),所述蒸发装置主体(1)的内部靠近上方的位置安装有滚珠丝杆(6)和伺服电机(9),所述滚珠丝杆(6)位于伺服电机(9)的一侧,所述双向液态源管道(4)和三通阀(11)均与沉积内管(16)连接;
所述蒸发装置主体(1)的上端安装有液态源蒸发罐(10)和预热装置(17),所述液态源蒸发罐(10)位于预热装置(17)的后方,所述预热装置(17)包含预热腔和加热电阻,该加热电阻位于预热腔的内表面,所述预热装置(17)与石英外管(15)之间连接有进气管。
2.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的内部靠近下方的位置安装有机械泵(7)和气体流量计(8),所述机械泵(7)位于气体流量计(8)的下方。
3.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的外表面靠近上方的位置设置有进气口(5),所述蒸发装置主体(1)的上表面安装有滑轨,所述加热炉(14)通过滑轨在蒸发装置主体(1)的上方左右滑动。
4.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述石英外管(15)的两侧均安装有法兰。
5.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述蒸发装置主体(1)的下端连接有若干个滑轮,所述蒸发装置主体(1)的后表面连接有显示屏。
6.根据权利要求1所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,所述加热炉(14)的上端设置若干个散热孔。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种双向液态源蒸发CVD系统,其特征在于,该双向液态源蒸发CVD系统的工作步骤包括:
步骤一:通过第一进出座(3)和第二进出座(12)将液态源注入蒸发装置主体(1)内,确认蒸发装置主体(1)处于密封状态后,开启机械泵(7),对沉积内管(16)及蒸发装置主体(1)内的蒸发气管进行粗抽真空,通入氮气对沉积内管(16)及蒸发气管进行洗气后,再进行二次抽真空;
步骤二:保压后液态源蒸发罐(10)和保护气体的预热装置(17)同时开始升温,将保护气体充满石英外管(15)的内部来保护沉积内管(16),蒸发汽态源由左端开启的三通阀(11)进入沉积内管(16),加热炉(14)升温使得沉积内管(16)内的蒸发汽态源开始裂解沉积,
步骤三:移开加热炉(14),待沉积内管(16)降温后,重新开启加热炉(14),达到预设标准的温度后,开启蒸发装置主体(1)右端的三通阀(11),通入氮气,加热炉(14)回移至原始位置并升温,使得沉积内管(16)内的蒸发汽态源裂解沉积;
步骤四:通入氮气,将沉积内管(16)中残余气体排出,自然降温结束后,取出沉积内管(16)并取料。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的