[发明专利]一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构

权利要求书

1.一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构，包括下炉体（1）和上炉体（3），上炉体（3）通过它的下端口错齿法兰盘（4）扣接在下炉体（1）的上端口错齿法兰盘（2）上，使上炉体内腔（9）与下炉体内腔（18）连通在一起，其特征在于，在下炉体（1）的炉底板中央处，设置有驱动轴伸出孔（24），在下炉体内腔（18）中，设置有沿上下竖直方向的下保温筒（20），在下保温筒（20）的内侧壁上设置有下保温筒加热电阻丝（21），驱动轴伸出孔（24）设置在下保温筒（20）中，在上端口错齿法兰盘（2）上设置有上保温筒支撑支架（10），在上保温筒支撑支架（10）上设置有沿上下竖直方向设置的上保温筒（11），在上保温筒（11）的内侧壁上设置有上保温筒加热电阻丝（13），在上保温筒（11）的顶端设置有盖板（12），下保温筒（20）与上保温筒（11）的底端对接在一起，下炉体（1）的炉底板、下保温筒（20）、上保温筒（11）和盖板组成一个封闭的炉内温度场空间，在该封闭的炉内温度场空间内设置有金属均温筒（14），在金属均温筒（14）内设置有防爆裂石英筒（15），驱动轴（23）从下向上穿过驱动轴伸出孔（24）后设置在防爆裂石英筒（15）中，在驱动轴（23）的顶端设置有石英坩埚支架（22），在石英坩埚支架（22）上设置有石英坩埚（16），在石英坩埚（16）中放置有装有碲化汞粉末状材料的密闭石英管（17）；在密闭的连通在一起的炉体内腔（9）与下炉体内腔（18）中充满有氩气；上保温筒（11）内的温度为摄氏720-1000度，下保温筒（20）内的温度为摄氏500-700度。

2.根据权利要求1所述的一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构，其特征在于，在上保温筒（11）的内侧壁上设置的上保温筒加热电阻丝（13）为三段分段分别控制的加热电阻丝，在下保温筒（20）的内侧壁上设置的下保温筒加热电阻丝（21）为二段分段分别控制的加热电阻丝，在防爆裂石英筒（15）内，从上到下，形成有温度从高到低的五段梯度分布温度场，在每段温度场的中央处均设置有温度传感器，温度最低的温度场内的温度为摄氏500度，温度最高的温度场内的温度为摄氏1000度。

3.根据权利要求2所述的一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构，其特征在于，在下炉体（1）上分别设置有抽真空口（30）、充氩气口（31）和炉腔内温度传感器连接座（32），在上端口错齿法兰盘（2）上设置有加热电阻丝电极引出线（29）。