[发明专利]气浮运动台

权利要求书

1.一种气浮运动台，其特征在于，包括：

底座；

第一直线电机，设置在所述底座上；

第二直线电机，与所述第一直线电机相对间隔设置在所述底座上；

运动装置，设置在所述第一直线电机和所述第二直线电机之间，且连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第一导轨，设置在所述底座上，且沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成气浮；

第二导轨，与所述第一导轨相对间隔设置在所述底座上，且沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

第二气浮装置，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成气浮；

第一磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第一导轨之间形成磁预载；以及，

第二磁浮组件，与所述运动装置相连，与所述第二导轨之间形成磁预载。

2.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一磁浮组件包括：位于所述第一导轨上方的第一垂向磁浮件；

所述第二磁浮组件包括：位于所述第二导轨上方的第二垂向磁浮件。

3.根据权利要求2所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一磁浮组件还包括：第一侧向磁浮件，与所述第一导轨的朝向所述第二导轨的一侧相对设置。

4.根据权利要求3所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第一安装面板、排列设置在所述第一安装面板上的若干个第一垂向永磁铁；且各所述第一垂向永磁铁朝向所述第一导轨的上表面；

所述第二垂向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第二安装面板、排列设置在所述第二安装面板上的若干个第二垂向永磁铁；且各所述第二垂向永磁铁朝向所述第二导轨的上表面；

所述第一侧向磁浮件包括：设置在所述运动装置上的第三安装面板、排列设置在所述第三安装面板上的若干个第一侧向永磁铁；且各所述第一侧向永磁铁朝向所述第一导轨相对于所述第二导轨的一侧。

5.根据权利要求3所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一气浮装置包括：

若干个第一正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨的上表面相对设置；以及，

若干个第一侧向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第一导轨的朝向所述第二导轨的一侧相对设置。

6.根据权利要求5所述的气浮运动台，其特征在于，所述第一垂向磁浮件和所述第一侧向磁浮件均沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第一正向气浮垫至少设有两个，且所述第一垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个；

所述第一侧向气浮垫至少设有两个，且所述第一侧向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个。

7.根据权利要求2所述的气浮运动台，其特征在于，所述第二气浮装置包括：

若干个第二正向气浮垫，与所述运动装置相连，且与所述第二导轨的上表面相对设置。

8.根据权利要求7所述的气浮运动台，其特征在于，所述第二垂向磁浮件沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；

所述第二正向气浮垫至少设有两个，且所述第二垂向磁浮件的延伸方向的两端均至少设有一个。

9.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述气浮运动台还包括：

第一栅尺，沿所述第一直线电机的定子的长度方向延伸；

第一读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第一栅尺上的数据；

第二栅尺，沿所述第二直线电机的定子的长度方向延伸；以及，

第二读数头，设置在所述运动装置上，读取所述第二栅尺上的数据。

10.根据权利要求1所述的气浮运动台，其特征在于，所述运动装置包括：

横梁，连接所述第一直线电机的动子和所述第二直线电机的动子；

第三直线电机，所述第三直线电机的定子沿所述横梁的长度方向排列设置在所述横梁上；

连接板，可滑动的设置在所述横梁上；且所述第三直线电机的动子设置在所述连接板上；以及，

第三气浮装置，设置在所述连接板上，且与所述底座和所述横梁的侧面之间形成气浮。