[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

电池片，所述电池片具有正极端和负极端；

以及形成在所述电池片的负极端的透明导电层；其中，

所述透明导电层包括第一透明导电膜和第二透明导电膜；所述第一透明导电膜和第二透明导电膜沿着远离所述电池片的负极端的方向层叠；所述第一透明导电膜含有掺杂H原子的ZnO，所述掺杂H原子的ZnO中H原子掺杂浓度为10¹⁹cm^-3～10²⁰cm^-3；

所述第二透明导电膜含有掺杂H原子的透明导电氧化物，所述掺杂H原子的透明导电氧化物中所述H原子浓度沿着远离所述第一透明导电膜的方向递减，所述第二透明导电膜背离所述第一透明导电膜的表面含有的H原子浓度为0。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述掺杂H原子的ZnO为n型掺杂H原子的ZnO。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述掺杂H原子的ZnO中，ZnO为掺杂有n型杂质原子的材料，所述n型杂质原子为第ⅢA族原子，所述第ⅢA族原子包括B、Al、Ga、In中的一种或多种；和/或，

所述n型杂质原子的掺杂浓度为10¹⁹cm^-3～10²⁰cm^-3。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述透明导电氧化物包括掺锡氧化铟、掺钨氧化铟、掺锌氧化铟、掺钛氧化铟、掺氟氧化锡中的一种或多种。

5.根据权利要求1～3任一项所述的太阳能电池，其特征在于，

所述电池片为硅异质结电池片、钙钛矿电池片、铜铟镓硒电池片或砷化镓电池片。

6.根据权利要求1～3任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一透明导电膜的厚度为3nm～40nm，和/或，所述第二透明导电膜的厚度为70nm～150nm。

7.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：

提供一电池片，所述电池片具有正极端和负极端；

在所述电池片的负极端形成透明导电层；其中，

所述透明导电层包括第一透明导电膜和第二透明导电膜；所述第一透明导电膜和第二透明导电膜沿着远离所述电池片的负极端的方向层叠；所述第一透明导电膜含有掺杂H原子的ZnO，所述掺杂H原子的ZnO中H原子掺杂浓度为10¹⁹cm^-3～10²⁰cm^-3；

所述第二透明导电膜含有掺杂H原子的透明导电氧化物，所述掺杂H原子的透明导电氧化物中所述H原子浓度沿着远离所述第一透明导电膜的方向递减，所述第二透明导电膜背离所述第一透明导电膜的表面含有的H原子浓度为0。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述在所述电池片的负极端形成透明导电层包括：

在氢掺杂源气氛的存在下，在所述电池片的负极端形成所述第一透明导电膜，所述第一透明导电膜含有掺杂H原子的ZnO；

在所述第一透明导电膜上形成所述第二透明导电膜。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述氢掺杂源为氢气或水汽。

10.根据权利要求8所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，形成所述第一透明导电膜的工艺为射频溅射工艺，所述射频溅射工艺的参数为：预设温度为50℃～250℃，真空度为0.01Pa～0.05Pa，电源功率密度为0.2W/cm²～1.5W/cm²，氧气与氩气的流量比为1：(10～50)，氢掺杂源与氩气的流量比为1：(50～500)，靶材为氧化锌或掺第ⅢA族原子氧化物的氧化锌。