[发明专利]一种坩埚搬运夹爪机构

说明书

本发明提供了一种坩埚搬运夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板、旋转组件；所述夹爪安装板用于安装夹爪，夹爪安装板底部固定有导轨，基础安装板顶部设有与导轨对应的滑块；所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪机构旋转。本发明所述的一种坩埚搬运夹爪机构，可实现夹爪旋转45°的自动上料机构，降低了工人劳动强度，提高了坩埚上料效率，避免人体与坩埚物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

技术领域

本发明属于硅料自动搬运技术领域，尤其是涉及一种坩埚搬运夹爪机构。

背景技术

近年来，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内芯片产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。目前，在石英坩埚搬运生产工艺中，大多需要人工进行取料搬运。人工取料搬运坩埚时，因为人体的接触，容易出现危险，人身安全系数低，对坩埚材质本身可能造成污染，随着技术发展，要求坩埚尺寸越来越大。人工取料增加了安全隐患，增加了人工数量，增大了生产成本。所以自动坩埚搬运上料机的出现是很有必要的。

市场上现有的坩埚搬运上料机构，大部分都是简单的结构，只能简单的实现物料的夹取，且大部分的夹取装置，只能夹取平面机构，不能适应不同大小的坩埚夹取，由于使用环境的要求，大多数现有的坩埚搬运上料机构，不具有旋转功能。简单的上料机构，不能系统的、不间断的形成坩埚的上料生产。因此，在这种情况下，需要一种适用于多种尺寸坩埚的自动上料机，来解决以上产生的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种坩埚搬运夹爪机构，实现生产线的坩埚自动上料，避免人体与坩埚物料直接接触，该设备降低了工人劳动强度，提高了坩埚上料效率，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种坩埚搬运夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板、旋转组件；

所述夹爪安装板用于安装夹爪，夹爪安装板底部固定有第一导轨，基础安装板顶部设有与第一导轨对应的第一滑块；

所述基础安装板上还设有用于驱动两个所述夹爪安装板运动的驱动组件；所述驱动组件包括伺服电机、第一齿轮、第一齿条；所述伺服电机安装于基础安装板上，用于带动第一齿轮转动；所述第一齿条与第一齿轮啮合；两个所述第一齿条对称设置分别与两个所述夹爪安装板固定，用于实现夹爪开闭；

所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪机构旋转。

进一步的，所述夹爪安装板包括第一固定板、第二固定板；

所述第一固定板与第一齿条固定，第二固定板用于安装夹爪；所述第一固定板和第二固定板分别固定于导轨两端；所述第一固定板和第二固定板顶部还设有加强筋。

进一步的，两个所述夹爪端部还设有仿行夹爪和扶正块。

进一步的，两个所述夹爪上还设有用于检测坩埚有无的传感器。

进一步的，两个所述第一齿条远离第一齿轮的一侧还设有随动轴承，随动轴承与第一齿条相切。

进一步的，所述旋转组件包括旋转齿轮安装板、旋转轴、支柱、第二齿轮、角接触球轴承、深沟球轴承、推力轴承、轴承座、Z轴移动机构、气缸连接板、气缸、第二齿条、齿条安装板；

所述旋转齿轮安装板通过支柱与基础安装板连接；所述第二齿轮安装在旋转齿轮安装板上，角接触球轴承、深沟球轴承、推力轴承安装在旋转轴上，轴承座与Z轴移动机构连接；

所述第二齿条与第二齿轮啮合；所述第二齿条固定于齿条安装板上，齿条安装板还设有第二导轨，气缸连接板上设有与第二导轨对应的第二滑块，使齿条安装板与气缸连接板滑动连接；所述气缸的活塞杆一端与齿条安装板连接，用于推动第二齿条左右移动，从而实现夹爪机构旋转。