[发明专利]检测物体结构的方法和实行该方法的设备

权利要求书

1.一种检测物体结构的方法，包括以下步骤：

-以来自至少一个优选的照明方向的至少部分相干光源(6)的照明光(1)照明(15)物体(5)的至少一个部分(3)，

-通过对在检测平面(8a)中由照明的部分(3)所衍射的照明光(1)的衍射强度进行空间分辨检测，记录照明的部分(3)的至少一个衍射图像，

-通过迭代方法从至少一个记录的衍射图像重构(16a)物体结构的至少一个部分(22；23)，在所述迭代方法中，从迭代起始值(16)开始，计算出原始物体结构(17)的迭代衍射图像，并且在每一次迭代步骤中将所述原始物体结构与所述记录的衍射图像进行比较，

-其中，通过从要检测的所述物体结构的原始物体结构开始，采取所述迭代起始值(16)，所述原始物体结构由与剩余检测方法无关的迭代起始值确定方法获得。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，由模拟方法获得所述迭代起始值(16)。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当实行所述模拟方法时，使用对物体成像的模拟(18)。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述模拟(18)期间使用所述物体成像的成像参数，所述物体成像的成像参数对应于照明(15)和/或重构(16a)期间所使用的物体成像的成像参数。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，从测量方法出发，获得所述迭代起始值(16)。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述模拟方法中包括对物体制造的模拟。

7.一种实行根据权利要求1至6中任一项所述的方法的设备(2)，

-包括提供所述照明光(1)的光源(6)，

-包括空间分辨检测器(8)，其布置在所述检测平面(8a)中，用于当记录所述衍射图像时检测衍射强度，

-包括掩模保持件(10)，所述掩模保持件是可移位的，以在所述光刻掩模(5)要照明的部分之间进行改变。