[发明专利]一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法

说明书

本申请涉及测量标定技术领域，具体而言，涉及一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法，包括：试验箱、真空计量罐以及真空泵，其中：试验箱内部包括依次连接的储气瓶、第一自锁阀、减压阀以及待标定微气体流量控制器；待标定微气体流量控制器通过旋转接点和气路管道与真空计量罐连通；真空泵通过第二自锁阀与气路管道连通，通过第三自锁阀与真空计量罐直接连通。本申请提供了一种真空环境下，温度变化或者不变化时微气体流量更精确的计量方法，消除了管道对流量控制器标定结果的影响，实现了微气体流量控制器设备在真空、变温环境下的标定，为空间用微气体流量控制器标定校准提供了数据。

技术领域

本申请涉及测量标定技术领域，具体而言，涉及一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法。

背景技术

微气体流量控制器在航天领域有广泛的应用需求，市场上普通的气体流量控制器使用及标定环境均为标准气压，室温(标准温度)下，但是航天用流量控制器使用要求较高，气体出口多为真空环境且工作在变温状态下。

航天用微气体流量控制器，需对其在真空、变温状况下进行标定校准，以适应环境对流量控制器的影响。现常用的气体流量标定方法有标准流量控制器法、标准装置法等，计量部门检定时，通常将标准流量控制器接在待标定流量测量装置的入口处，检定流量示值误差，但是由于待标定流量测量装置的实际使用环境与状态与标定检验状态不同，检定结果不能证明实际工况下流量控制器的测量及控制精度，这些方法仅适用于常温，标准状况下的气体流量标定。

真空、变温环境下微小流量的测量，由于测量过程中气体管道温度变化导致气体体积变化与流动远远大于微小气体流量控制器的输出控制，影响不可忽视。因此需要一种标定方法，消除管道对流量控制器量的影响，实现微气体流量控制器量设备在真空、变温环境下的标定。

发明内容

本申请的目的在于提供一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法，主要适用于在真空变温环境下对微流量控制器进行标定，测量准确，误差较小。

根据本申请提供的一种空间用微气体流量控制器标定系统，包括：试验箱、真空计量罐以及真空泵，其中：试验箱内部包括依次连接的储气瓶、第一自锁阀、减压阀以及待标定微气体流量控制器；待标定微气体流量控制器通过旋转接点和气路管道与真空计量罐连通；真空泵通过第二自锁阀与气路管道连通，通过第三自锁阀与真空计量罐直接连通。

进一步的，待标定微气体流量控制器与真空计量罐之间的气路管道上设置有第四自锁阀。

进一步的，待标定微气体流量控制器与真空计量罐之间的气路管道上还设置有手动阀。

进一步的，真空计量罐内部设置有第一压力传感器、第二压力传感器、第一温度计以及第二温度计。

进一步的，真空计量罐的外部设置有保温层。

进一步的，还包括控制系统，控制系统用于控制调整试验箱内的工况以及调节各阀门的开启与闭合。

进一步的，试验箱内为真空环境。