[发明专利]一种激光位移传感器热误差测量系统及热误差测量方法

权利要求书

1.一种使用激光位移传感器热误差测量系统的热误差测量方法，其特征在于：该方法包括以下步骤，第一步，将激光位移传感器安装于恒温箱内的传感器安装座上，调整标准块叠放数量，激光位移传感器对相应标准块的厚度方向侧面垂直照射，激光位移传感器的读数处于量程最小端；第二步，在恒温箱的设定温度值为T时，逐个减小标准块的堆叠数量，直到标准块的数量减到1，记当前温度下的标准块的数量为N，N,N-1,…,1,标准块的堆叠方向厚度为H，不同标准块个数，激光位移传感器的读数为：

激光位移传感器的热误差为设定温度为T，标准块个数为i时的激光位移传感器的热误差，

改变恒温箱的设定温度值，重复第一步和第二步，直至覆盖所有需要的设定温度值，

激光位移传感器热误差测量系统包括能够调节温度的恒温箱，恒温箱内设置有用于相应激光位移传感器安装的传感器安装座，恒温箱内设置有工作台面，激光位移传感器热误差测量系统还包括多个等厚的用于彼此在厚度方向上接触叠放于所述工作台面上且能够单独移开的标准块，标准块的厚度方向两个侧面平行设置，标准块的其中一个厚度方向侧面用于被激光位移传感器所发出的测量激光垂直照射，标准块由因瓦合金材料制成，当激光位移传感器在实际的工作环境温度下，对应位移值时，通过相应的热误差值进行补偿。

2.根据权利要求1所述的热误差测量方法，其特征在于：恒温箱的温度波动小于0.5℃。

3.根据权利要求1所述的热误差测量方法，其特征在于：所述工作台面水平布置，各标准块用于沿竖向叠放于所述工作台面上，传感器安装座位于所述工作台面的上侧。

4.根据权利要求3所述的热误差测量方法，其特征在于：传感器安装座通过竖向支架与所述工作台面相连，传感器安装座包括XY二维旋转微动台，传感器安装座还包括设置于XY二维旋转微动台上的调平支座，所述调平支座上设置有用于实现相应激光位移传感器安装的安装板，调平支座上设置有水平仪。

5.根据权利要求4所述的热误差测量方法，其特征在于：所述安装板竖向布置于所述XY二维旋转微动台的一侧，安装板背离所述XY二维旋转微动台的一侧板面用于实现所述激光位移传感器安装。

6.一种使用激光位移传感器热误差测量系统的热误差测量方法，其特征在于：该方法包括以下步骤，第一步，将激光位移传感器安装于恒温箱内的传感器安装座上，在工作台面上放置一个标准块，激光位移传感器对标准块的厚度方向侧面垂直照射，激光位移传感器的读数处于量程最大端；第二步，在恒温箱的设定温度值为T时，逐个增加标准块的堆叠数量，直到标准块的数量增加到N，此时激光位移传感器的读数处于量程最小端，记当前温度下的标准块的数量为N，1,2,…,N-1，N,标准块的堆叠方向厚度为H，不同标准块个数，激光位移传感器的读数为：

激光位移传感器的热误差为设定温度为T，标准块个数为i时的激光位移传感器的热误差，

改变恒温箱的设定温度值，重复第一步和第二步，直至覆盖所有需要的设定温度值，

激光位移传感器热误差测量系统包括能够调节温度的恒温箱，恒温箱内设置有用于相应激光位移传感器安装的传感器安装座，恒温箱内设置有工作台面，激光位移传感器热误差测量系统还包括多个等厚的用于彼此在厚度方向上接触叠放于所述工作台面上且能够单独移开的标准块，标准块的厚度方向两个侧面平行设置，标准块的其中一个厚度方向侧面用于被激光位移传感器所发出的测量激光垂直照射，标准块由因瓦合金材料制成，当激光位移传感器在实际的工作环境温度下，对应位移值时，通过相应的热误差值进行补偿。

7.根据权利要求6所述的热误差测量方法，其特征在于：恒温箱的温度波动小于0.5℃。

8.根据权利要求6所述的热误差测量方法，其特征在于：所述工作台面水平布置，各标准块用于沿竖向叠放于所述工作台面上，传感器安装座位于所述工作台面的上侧。