[发明专利]含氟废液的回收利用方法

说明书

本发明提出了一种含氟废液的回收利用方法，包括：含氟废液在浓硫酸作用下，氟化氢、四氟化硅、硝酸蒸汽以气体状态逸出，之后经过两级冷凝；第一级冷凝得到硝酸，第二级冷凝得到氢氟酸；所述四氟化硅气体通过处理方式得到浓氟硅酸和二氧化硅；分离二氧化硅后，所述浓氟硅酸与所述含氟废液混合，在系统内循环；所述含氟废液包括氢氟酸、硝酸和氟硅酸。本发明处理方法简单、成本低、回收效率高，适合于工业化推广应用。使用本发明的处理方法，原含氟废液中含有的氢氟酸或硝酸回收率较高。光伏行业的硝酸回收浓度≥65％、氢氟酸的回收浓度≥95％；电子行业的硝酸回收浓度≥45％、氢氟酸的回收浓度≥20％。

技术领域

本发明涉及废酸处理技术领域，特别是指一种含氟废液的回收利用方法。

背景技术

电子工厂与光伏电池板生产企业，为保障先进制程的完整、精密和良率，在生产过程中会使用电子级的氢氟酸和硝酸处理硅片，从而产生大量含氟废酸。这些含氟废酸的氢氟酸含量一般在4～10％，硝酸的含量一般在5～30％，氟硅酸的含量一般在0.6～6％。大多数此类工厂的环评报告都把含氟废酸列为危废品，少数工厂会把含氟废酸列为副产品。根据中国的现行法律，危废品需要有资质的单位进行专项处理，或者产废单位在自己工厂内进行现场处理，使之成为一般废弃物。

产废工厂或危废处置单位对此类废酸的处理方式一般都是酸碱中和处理，PH值达标后，把固体物沉淀下来，成为一般固废。最常用的碱就是石灰(CaO)或消石灰(Ca(HO)2)，成本低、固废易处理、废水容易达标。但是用碱中和处理含氟废酸，只是单纯地处理了危废物，却忽视了氟资源的价值。在全球提倡节能降耗、发展低碳经济的时代，探索新的生产技术和工艺已成为业内人士的共识。只有采用先进的技术和工艺，将这些氟资源利用起来，在生产高附加值、有市场需求的氟产品后，将大幅度降低污水处理成本且非常符合资源综合利用和发展循环经济的国家政策。所以，如何综合循环回收利用含氟混酸的技术已越来越引起重视。

发明内容

本发明提出一种含氟废液的回收利用方法，解决了现有技术中废酸直接沉淀处理以致于氟资源没有回收利用的问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种含氟废液的回收利用方法，包括：

含氟废液在浓硫酸作用下，四氟化硅和水以气体状态逸出，之后经过两级冷凝；第一级冷凝得到硝酸，第二级冷凝得到氢氟酸；

所述四氟化硅经处理后得到浓氟硅酸和二氧化硅；之后分离二氧化硅，所述浓氟硅酸与所述含氟废液混合，进入系统内循环；

所述含氟废液包括氢氟酸、硝酸和氟硅酸。

在一些实施例中，上述作用后的浓硫酸转化为稀硫酸，将所述稀硫酸蒸发浓缩为浓硫酸，将浓缩后的浓硫酸进入处理系统内循环使用。

在一些实施例中，所述四氟化硅的处理方式为用水吸收。

在一些实施例中，所述四氟化硅的处理方式为用稀氟硅酸吸收。

在一些实施例中，所述含氟废液包括，H₂SiF₆：0.3％～12％、HF：2％～15％、HNO₃：3％～35％。(光伏行业)

在一些实施例中，所述含氟废液包括，H₂SiF₆：0.3％～6.5％、HF：2％～8％、HNO₃：3％～15％。(电子行业)

在一些实施例中，所述浓硫酸的浓度为92～96％。

在一些实施例中，第一级冷凝的温度为15℃～78℃，第二级冷凝的温度为-10℃～19℃

本发明相比于现有技术具有以下有益效果：