[发明专利]一种低成本太赫兹脉冲能量探测装置

权利要求书

1.一种低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于，包括：基底和置于基底上的第一电极、第二电极、第一石墨烯带、第二石墨烯带、传感部；所述第一电极置于所述第一石墨烯带上，所述第二电极置于所述第二石墨烯带上，所述第一石墨烯带、所述传感部、所述第二石墨烯带依次连接，所述基底为绝缘材料，所述传感部的材料为石墨烯，所述第一石墨烯带、所述第二石墨烯带、所述传感部中石墨烯的层数少于10层，所述第一石墨烯带和所述第二石墨烯带的宽度相等，所述传感部的宽度大于所述第一石墨烯带的宽度。

2.如权利要求1所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：在所述第一石墨烯带和所述传感部之间设有第一连接部，所述第一连接部的材料为石墨烯。

3.如权利要求2所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述第一连接部的宽度小于所述第一石墨烯带和所述传感部的宽度。

4.如权利要求3所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：在所述第二石墨烯带和所述传感部之间设有第二连接部，所述第二连接部的材料为石墨烯。

5.如权利要求4所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述第二连接部的宽度小于所述第二石墨烯带和所述传感部的宽度。

6.如权利要求5所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述传感部设有孔洞。

7.如权利要求6所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述孔洞为多个。

8.如权利要求7所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述孔洞非周期排列。

9.如权利要求8所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述孔洞的形状为星形。

10.如权利要求9所述的低成本太赫兹脉冲能量探测装置，其特征在于：所述传感部中石墨烯的层数少于所述第一石墨烯带和所述第二石墨烯带中的石墨烯层数。