[发明专利]高频电源装置以及高频功率的输出方法

权利要求书

1.一种高频电源装置，其特征在于，具备：

生成高频信号的高频生成部；

周期性地控制所述高频生成部所生成的高频信号的振幅或相位的控制部；和

输出基于被所述控制部控制了振幅或相位的高频信号从而大小被控制的高频功率的高频输出部，

所述控制部控制所述高频信号的振幅或相位，使得所述高频输出部所输出的高频功率的大小在控制周期中的第1期间成为第1水平，在与所述第1期间不同的所述控制周期中的第2期间成为比所述第1水平低的第2水平，

所述控制部使所述第1期间的长度相对于所述控制周期的长度的比以及所述第2水平的至少一方渐减或渐增，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐减的情况下，使所述第1水平渐增，使得所述高频输出部所输出的高频功率的平均值成为固定，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐增的情况下，使所述第1水平渐减，使得所述高频输出部所输出的高频功率的平均值成为固定。

2.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

所述高频生成部生成包含相同频率的第1高频信号以及第2高频信号的多个高频信号，

所述控制部控制所述第1期间以及所述第2期间各自中的所述第1高频信号与所述第2高频信号的相位差，

所述高频输出部具有：

生成具有与所述第1高频信号相应的相位的第1高频电压的第1生成部；

生成具有与所述第2高频信号相应的相位的第2高频电压的第2生成部；和

将分别基于所述第1生成部以及所述第2生成部所生成的第1高频电压以及第2高频电压的高频功率以与所述相位差相应的比例进行合成的功率合成部。

3.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

所述控制部控制所述第1期间以及所述第2期间各自中的所述高频信号的振幅，

所述高频输出部输出具有与被所述控制部控制了振幅的高频信号相应的大小的高频功率。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的高频电源装置，其特征在于，

所述高频电源装置还具备：检测所述高频输出部所输出的高频功率的功率检测部，

所述控制部调整所述高频信号的振幅或相位，使得在所述第1期间以及所述第2期间中由所述功率检测部检测的高频功率的大小和所述第1水平以及所述第2水平一致。

5.一种高频电源装置，其特征在于，具备：

生成第1高频信号以及第2高频信号的高频生成部；

周期性地控制所述高频生成部生成的第1高频信号以及第2高频信号的振幅或相位的控制部；

输出基于被所述控制部控制振幅或相位的第1高频信号从而大小被控制的高频功率的第1高频输出部；和

输出基于被所述控制部控制了振幅或相位的第2高频信号从而大小被控制的高频功率的第2高频输出部，

所述控制部控制所述第1高频信号的振幅或相位，使得所述第1高频输出部所输出的高频功率的大小在控制周期中的第1期间成为第1水平，

所述控制部控制所述第2高频信号的振幅或相位，使得所述第2高频输出部所输出的高频功率的大小在与所述第1期间不同的所述控制周期中的第2期间成为比所述第1水平低的第2水平，

所述控制部使所述第1期间的长度相对于所述控制周期的长度的比以及所述第2水平的至少一方渐减或渐增，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐减的情况下，使所述第1水平渐增，使得所述第1高频输出部以及所述第2高频输出部所输出的高频功率的和的平均值成为固定，

所述控制部在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐增的情况下，使所述第1水平渐减，使得所述第1高频输出部以及所述第2高频输出部所输出的高频功率的和的平均值成为固定。

6.一种高频功率的输出方法，输出基于被周期性地控制振幅或相位的高频信号从而大小被控制的高频功率，其特征在于，

控制所述高频信号的振幅或相位，使得所述高频功率的大小在控制周期中的第1期间成为第1水平，在与所述第1期间不同的所述控制周期中的第2期间成为比所述第1水平低的第2水平，

使所述第1期间的长度相对于所述控制周期的长度的比以及所述第2水平的至少一方渐减或渐增，

在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐减的情况下，使所述第1水平渐增，使得所述高频功率的平均值成为固定，

在使所述比以及所述第2水平的至少一方渐增的情况下，使所述第1水平渐减，使得所述高频功率的平均值成为固定。