[发明专利]基于PL测试判定太阳电池异常原因的方法有效
申请号: | 202010965505.7 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN112259468B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 王玉涛;孙晓凯;翟超 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 张一帆 |
地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 pl 测试 判定 太阳电池 异常 原因 方法 | ||
1.一种基于PL测试判定太阳电池异常原因的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将湿法刻蚀后的硅片经翻片风车垂直翻片,并由下料皮带水平输出,在指定道次上选取硅片,直接进行双面镀膜钝化、印刷烧结处理,形成待测硅片;
S2、对所述待测硅片进行PL测试和判定,若所述PL测试的图像中出现暗色条状区域,则根据所述暗色条状区域的方位判断其是否为翻片风车前滚轮印或湿法刻蚀下料皮带印,进而推断出相应的异常部位。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当验证湿法刻蚀的下料皮带是否存在异常时,先标记所述待测硅片与所述下料皮带的相对位置,在镀膜钝化前,旋转所述待测硅片,使其相对于镀膜钝化上下料皮带的位置异于其相对于所述下料皮带的位置。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述旋转的角度为90度。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当验证所述翻片风车的前滚轮是否存在异常时,先标记所述待测硅片与所述下料皮带的相对位置,在镀膜钝化时,保持所述待测硅片相对于镀膜钝化上下料皮带的位置与其相对于所述下料皮带的位置相同。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法,其特征在于,S1中在每个所述指定道次上选取的硅片数量不小于两片。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,S1中由所述双面镀膜钝化制得的钝化膜叠层厚度不小于75nm。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述双面镀膜钝化为双面氮化硅钝化、双面氧化铝氮化硅叠层钝化、正面氮化硅/背面氧化铝氮化硅叠层钝化中的任一种。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述印刷烧结的峰值温度为800±50℃,所述印刷烧结的时间为100±20s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造