[发明专利]磁性体检测传感器

说明书

本发明涉及磁性体检测传感器。本发明的磁性体检测传感器(100)具备：第一支撑基板(101)；磁铁(102)，其在第一支撑基板的一方的主面(101a)侧以磁化方向(102M)平行于第一支撑基板的主面(101a)的方式配置；半导体芯片(104)，其配置在第一支撑基板的一方的主面(101a)侧，具有对特定方向的磁场成分进行检测的磁场检测元件(103)；以及软磁性体膜(105)，其配置在第一支撑基板的另一方的主面(101b)，在与磁铁的磁化方向(102M)平行的方向上延伸。

技术领域

本发明涉及磁性体检测传感器。

背景技术

以往，提出了通过组合了磁场检测元件和永磁铁的构造来检测磁性体的存在的磁性体检测传感器(例如，专利文献1)。作为成为被检测体的磁性体，可以举出永久磁化小且磁导率大的钢等金属材料、含有磁性体颗粒的磁性涂料等。磁性体检测传感器用于齿轮的旋转检测或磁性涂料的图案检测等。与对永磁铁的接近进行检测的一般的磁传感器相比，磁性体检测传感器不需要使被检测体磁化，所以能够容易地实现非接触的接近检测。

现有技术文献

专利文献1：美国专利第8089276号说明书

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1中公开了具有如下构造的磁性体检测传感器：在大致同一平面上相邻地配置永磁铁和磁场检测元件，用单一的树脂将它们一并密封。图4的(a)、(b)例示了在使与此相同结构的磁性体检测传感器400接近非磁性体的壁面W1、软磁性体的壁面W2时在周围产生的磁场的分布。磁性体检测传感器400在支撑基板401的一方的主面配置有磁铁402和具备磁场检测元件403的半导体芯片404。

如图4的(a)、(b)所示，已知现有的磁性体检测传感器周边的磁场的分布受到存在于周边的其他构造物的影响而变化。因此，例如在将专利文献1所公开的磁性体检测传感器粘贴在壁上的状态下，在要检测从与壁相反的一侧接近的磁性体的情况下，传感器的输出信号不仅根据与作为检测对象的磁性体之间的距离而变化，还根据壁面的材质而变化。更具体而言，在壁面的材质为磁性体的情况和为非磁性体的情况下，即使在没有作为检测对象的磁性体时，输出信号也会产生较大的偏移。另外，在壁面的材质为磁性体的情况和为非磁性体的情况下，检测对象接近引起的磁场变化量的大小也变化，产生灵敏度的偏差。因此，在以往的磁性体检测传感器中，由于壁的影响，有时难以正确地得到与检测出的磁性体的距离。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种磁性体检测传感器，该磁性体检测传感器能够抑制由于周围的构造物的影响而引起的偏移的产生和灵敏度的偏差，不易产生磁性体的检测中的动作点的偏离。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明采用以下手段。

本发明的一个方式所涉及的磁性体检测传感器具备：第一支撑基板；磁铁，其在所述第一支撑基板的一方的主面侧以磁化方向平行于所述主面的方式配置；半导体芯片，其配置在所述第一支撑基板的一方的主面侧，具有对特定方向的磁场成分进行检测的磁场检测元件；以及软磁性体膜，其配置在所述第一支撑基板的另一方的主面侧，在与所述磁铁的磁化方向平行的方向上延伸。

发明效果

根据本发明，能够提供一种磁性体检测传感器，该磁性体检测传感器能够抑制由于周围的构造物的影响而引起的、磁性体检测时的动作点的偏离。

附图说明

图1的(a)、(b)是本发明的第一实施方式的磁性体检测传感器的俯视图、剖视图。

图2的(a)、(b)是本发明的第二实施方式的磁性体检测传感器的俯视图、剖视图。

图3的(a)、(b)是本发明的第三实施方式的磁性体检测传感器的俯视图、剖视图。