[发明专利]从铟锡合金中提纯铟的方法

权利要求书

1.一种从铟锡合金中提纯铟的方法，制作一个提纯装置，包括具有仓门的真空炉，N₂气瓶与真空泵分别通过设有球阀开关的管道与真空炉连接，所述的真空炉内设置有用于给铟锡合金加热的加热装置，在真空炉顶部设置有铟金属回收靶，还包括一个用于冷却铟金属回收靶的冷却装置以及在所述真空泵与真空炉连接的管道上设置有真空度表，所述的铟金属回收靶为铟金属板，所述的铟金属回收靶内部具有空腔，冷却装置布置在该空腔的内部；利用上述提纯装置 提纯铟包括如下步骤：

a.首先关闭N₂气瓶与真空炉连接管道上的球阀开关；

b.打开真空炉仓门，将铟锡合金放入真空炉内后关闭真空炉仓门；

c.打开真空泵开始抽真空，在真空度表达到预先设定的真空度后，关闭真空泵与真空炉连接管道上的球阀开关及真空泵；

d.开始启动加热装置对真空炉内进行加热，达到预先设定的温度后，保温固定的时间，使得真空炉内的铟锡合金中的铟充分升华；

e.铟金属回收靶连接的冷却装置使得铟金属回收靶保持较低的温度，升华的铟蒸气沉积在铟金属回收靶上，实现合金分离；

f.铟升华结束后，打开N₂气瓶(1)与真空炉(5)连接管道上的球阀开关，使N₂进入真空炉，在真空度表上显示的真空度达到正常大气压后，关闭球阀开关切断N₂进入,待真空炉冷却至常温后打开真空炉仓门，取出升华后的废料和沉积后的铟金属回收靶。

2.根据权利要求1所述从铟锡合金中提纯铟的方法，其特征在于，所述的加热装置为电加热棒或加热丝。

3.根据权利要求1所述从铟锡合金中提纯铟的方法，其特征在于，所述的冷却装置为水循环冷却装置、半导体制冷装置或压缩机冷却装置。

4.根据权利要求1所述从铟锡合金中提纯铟的方法，其特征在于，所述的真空泵的功率≥2KW，所能达到的极限真空度为5×10^^～2pa。

5.根据权利要求1所述从铟锡合金中提纯铟的方法，其特征在于，所述的真空炉内的真空度在2～20pa时关闭球阀开关，且在升华过程中保持真空度高于20～100pa。

6.根据权利要求1所述从铟锡合金中提纯铟的方法，其特征在于，所述的真空炉加热的速率为0.5～10℃/min,加热的温度为50～150℃，保温的时间为0.5～3h。