[发明专利]一种陀螺全匹配调谐电极

权利要求书

1.一种陀螺全匹配调谐电极，其特征在于，所述的调谐电极包括栅结构和金属电极；将驱动模态框架和检测模态框架的调谐电极的栅结构均设置在中心质量块上，所述的中心质量块可在驱动模态方向和检测模态方向上自由运动；

所述驱动模态框架的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；所述检测模态 框架的调谐电极为两个，两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布且相互平行；所述驱动模态框架的调谐电极的方向与检测模态 框架的调谐电极的方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的陀螺全匹配调谐电极，其特征在于，所述的金属电极为锯齿形。

3.根据权利要求1所述的陀螺全匹配调谐电极，其特征在于，所述的驱动模态框架和检测模态框架的调谐电极相互独立，调谐方向包括如下4种情况：

驱动模态向上调谐，检测模态向下调谐；

驱动模态向上调谐，检测模态向上调谐；

驱动模态向下调谐，检测模态向上调谐；

驱动模态向下调谐，检测模态向下调谐。

4.根据权利要求3所述的陀螺全匹配调谐电极，其特征在于，所述的驱动模态向下调谐、检测模态向上调谐，适用于由于工艺误差，使得加工得到的微机械陀螺驱动模态谐振频率大于检测模态谐振频率的情况。

5.根据权利要求3所述的陀螺全匹配调谐电极，其特征在于，所述的驱动模态向上调谐、检测模态向下调谐，适用于由于工艺误差，使得加工得到的微机械陀螺驱动模态谐振频率小于检测模态谐振频率的情况。