[发明专利]一种存储器件在审

专利信息
申请号: 202010967831.1 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112054034A 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 杨美音;崔岩;罗军;许静 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L27/1159
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 柳虹
地址: 100029 北京市朝阳*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 存储 器件
【权利要求书】:

1.一种存储器件,其特征在于,包括:

第一器件结构和第二器件结构;

所述第一器件结构包括由下至上依次层叠的底电极、第一掺杂材料层、本征材料层、第二掺杂材料层和顶电极;

所述第二器件结构包括衬底,位于所述衬底上的鳍部,以及覆盖于所述鳍部的铁电层,所述铁电层上的栅极层,所述栅极层两侧露出的鳍部分别为源极和漏极;

所述底电极与所述源极连接,所述顶电极与所述漏极连接。

2.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述鳍部和所述铁电层之间还形成有绝缘层。

3.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述底电极与所述源极之间形成有第一开关,所述顶电极和所述漏极之间形成有第二开关。

4.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述底电极与所述源极通过第一金属线或第一硅通孔连接,所述顶电极与所述漏极通过第二金属线或第二硅通孔连接。

5.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述第一器件结构为可见光二极管、红外光二极管或紫外光二极管。

6.一种存储器件,其特征在于,包括:

第一器件结构和第二器件结构;

所述第一器件结构包括由下至上依次层叠的底电极、第一掺杂材料层、第二掺杂材料层和顶电极;

所述第二器件结构包括衬底,位于所述衬底上的鳍部,以及覆盖于所述鳍部的铁电层,所述铁电层上的栅极层,所述栅极层两侧露出的鳍部分别为源极和漏极;

所述底电极与所述源极连接,所述顶电极与所述漏极连接。

7.根据权利要求6所述的存储器件,其特征在于,所述鳍部和所述铁电层之间还形成有绝缘层。

8.根据权利要求6所述的存储器件,其特征在于,所述底电极与所述源极之间形成有第一开关,所述顶电极和所述漏极之间形成有第二开关。

9.根据权利要求6所述的存储器件,其特征在于,所述底电极与所述源极通过第一金属线或第一硅通孔连接,所述顶电极与所述漏极通过第二金属线或第二硅通孔连接。

10.根据权利要求6所述的存储器件,其特征在于,所述第一器件结构为可见光二极管、红外光二极管或紫外光二极管。

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