[发明专利]暗场检测装置

权利要求书

1.一种暗场检测装置，其特征在于，包括：

照明模块，用于提供光源；

光路整形模块，包括用于在晶片上形成重叠的线形照明光斑的多个分支光路；每一所述分支光路均用于以一定的入射角度照射所述晶片，所述多个分支光路形成环形照射；每一所述分支光路均包括匀光结构和临界照明结构，所述光源提供的照射光依次经所述匀光结构和临界照明结构照射至所述晶片上；

物镜，用于收集来自所述晶片的散射光；以及

成像传感器，用于接收所述物镜输出的信号光；

所述匀光结构为反射式匀光腔结构，所述匀光结构包括入射光端面、匀光腔体和出射光端面，所述匀光结构的匀光腔体包括四个反射面，所述匀光腔体由所述四个反射面围成。

2.根据权利要求1所述的暗场检测装置，其特征在于，所述入射角度为60°～85°。

3.根据权利要求1所述暗场检测装置，其特征在于，所述匀光结构的出射光端面为平行四边形。

4.根据权利要求1所述的暗场检测装置，其特征在于，所述照明模块包括：

光源；以及

用于接收所述光源的光导，所述光导的输出端包括多个分端端口，每一所述分端端口均用于向与其对应设置的分支光路提供照射光。

5.根据权利要求4所述的暗场检测装置，其特征在于，所述分端端口的出光端面为长方形。

6.根据权利要求1所述的暗场检测装置，其特征在于，所述匀光结构的出射光端面与所述匀光结构的出射光轴之间相垂直或具有大于0°且小于90°的夹角。

7.根据权利要求6所述的暗场检测装置，其特征在于，所述临界照明结构为远心照明。

8.根据权利要求1所述的暗场检测装置，其特征在于，所述分支光路的个数为6个、8个、12个或16个。