[发明专利]一种F、Sb双元素共掺SnO2 在审
申请号: | 202010970400.0 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN111979532A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 梁凤兴;曾景;谢双斐;卢艺尹 | 申请(专利权)人: | 广西大学 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 530004 广西壮族*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 sb 元素 sno base sub | ||
1.一种F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)溶胶制备:先配制体积为20~30ml的五水四氯化锡和无水乙醇混合后进行搅拌25~45min;配制体积为20~30ml的三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮混合后进行搅拌25~45min;然后将上述两种混合液进行混合,并加入稳定剂进行搅拌1.5~2.5h,制得40~60ml的溶胶;
(2)硅片衬底清洗:分别用去离子水、氢氟酸、丙酮和无水乙醇按顺序超声清洗5~10min,以获得符合要求的硅片衬底表面;
(3)SnO2薄膜制备:利用匀胶机在硅片衬底上旋涂溶胶,经胶化过程得到凝胶;凝胶经过干燥、热处理,冷却后清洗灰质制得SnO2薄膜制备。
2.根据权利要求1所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述五水四氯化锡和无水乙醇的质量比为(1~3):(5~6);所述三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮的质量比为(1~2):(1~2):(45~50)。
3.根据权利要求2所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述氢氟酸的质量分数为5%。
4.根据权利要求3所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述五水四氯化锡和无水乙醇混合后进行常温搅拌,三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮混合后进行水浴加热磁搅拌,将上述两种混合液进行混合,并加入稳定剂进行水浴加热磁搅拌。
5.根据权利要求1或4所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述稳定剂包括聚乙二醇和火棉胶。
6.根据权利要求1所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,每涂覆一层溶胶均要进行干燥,温度为120~180℃,时间为10~20min;经干燥处理后再进行退火热处理;退火温度为400~800℃,时间为1~2h。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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