[发明专利]一种F、Sb双元素共掺SnO2在审

专利信息
申请号: 202010970400.0 申请日: 2020-09-16
公开(公告)号: CN111979532A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 梁凤兴;曾景;谢双斐;卢艺尹 申请(专利权)人: 广西大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 李宏伟
地址: 530004 广西壮族*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 sb 元素 sno base sub
【权利要求书】:

1.一种F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)溶胶制备:先配制体积为20~30ml的五水四氯化锡和无水乙醇混合后进行搅拌25~45min;配制体积为20~30ml的三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮混合后进行搅拌25~45min;然后将上述两种混合液进行混合,并加入稳定剂进行搅拌1.5~2.5h,制得40~60ml的溶胶;

(2)硅片衬底清洗:分别用去离子水、氢氟酸、丙酮和无水乙醇按顺序超声清洗5~10min,以获得符合要求的硅片衬底表面;

(3)SnO2薄膜制备:利用匀胶机在硅片衬底上旋涂溶胶,经胶化过程得到凝胶;凝胶经过干燥、热处理,冷却后清洗灰质制得SnO2薄膜制备。

2.根据权利要求1所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述五水四氯化锡和无水乙醇的质量比为(1~3):(5~6);所述三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮的质量比为(1~2):(1~2):(45~50)。

3.根据权利要求2所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述氢氟酸的质量分数为5%。

4.根据权利要求3所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述五水四氯化锡和无水乙醇混合后进行常温搅拌,三氯化锑、氢氟酸和乙酰丙酮混合后进行水浴加热磁搅拌,将上述两种混合液进行混合,并加入稳定剂进行水浴加热磁搅拌。

5.根据权利要求1或4所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述稳定剂包括聚乙二醇和火棉胶。

6.根据权利要求1所述的F、Sb双元素共掺SnO2薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,每涂覆一层溶胶均要进行干燥,温度为120~180℃,时间为10~20min;经干燥处理后再进行退火热处理;退火温度为400~800℃,时间为1~2h。

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