[发明专利]一种铝钕铟锌氧化物旋转靶及其制备方法在审
| 申请号： | 202010971405.5 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112079626A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/50;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝钕铟锌 氧化物 旋转 及其 制备 方法 | ||
1.一种铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、将氧化铝、氧化钕、氧化铟、氧化锌加入水、粘结剂搅拌均匀、砂磨得到浆料；
S2、将步骤S1所得浆料喷雾干燥得到造粒粉；
S3、将步骤S2所得造粒粉冷等静压成型，冷等静压的升压速率为10-30Mpa/min，最大压力为200-450Mpa，保压时间为10-30min，降压速率为30-60Mpa/min，得到旋转靶素坯；
S4、将旋转靶素坯精修后脱脂烧结得到烧结坯；
S5、将烧结坯与金属背管邦定得到铝钕铟锌氧化物旋转靶。
2.根据权利要求1所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S1中，氧化铝、氧化钕、氧化铟、氧化锌总量中，氧化铝所占的质量分数为x％,氧化钕所占的质量分数为y％,氧化铟所占的质量分数为z％，氧化锌所占的质量分数为(100-x-y-z)％,其中，0≤x＜10，0＜x＜10，0＜z100。
3.根据权利要求1或2所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S1中，氧化铝、氧化钕、氧化铟、氧化锌均为4N粉末，粒径D50为0.1-1.0μm，比表面积BET为5-30m2/g。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S1中，浆料的粒径D50小于0.5μm。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S2中，造粒粉的粒径D50为20-50μm。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S3中，旋转靶素坯的相对密度为55-65％。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S4中，脱脂烧结的脱脂温度为500-600℃，升温速率为0.5-1.0℃/min，保温时间为4-8h，烧结气氛为空气，烧成温度为1400-1600℃，升温速率为1.0-2.0℃/min，保温时间为12-24h，烧结气氛为氧气。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤S4中，烧结坯的相对密度为99.0-99.7％。
9.一种铝钕铟锌氧化物旋转靶，其特征在于，采用权利要求1-8中任一项所述的铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法制得。
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