[发明专利]一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法

说明书

本申请公开了一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法，包括以下步骤：(1)确定电真空器件的出气率q₀；(2)建立电真空器件的出气率模型；(3)将步骤(1)确定的出气率q₀代入步骤(2)建立的出气率模型，计算得出真空计临界压力值P₀；(4)读取真空计的压力值P；(5)将步骤(4)读取的压力值P与步骤(3)计算的真空计临界压力值P₀进行比较，判断电真空器件内部真空度是否达到设计值。本申请通过建立电真空器件的出气率模型，实现电真空器件出气率的间接获取，从而实现了电真空器件真空度的检测，本申请解决相关技术中密封的电真空器件真空度变化无法观察的的技术问题。

技术领域

本申请涉及密封电真空器件制造技术领域，具体而言，涉及一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法。

背景技术

电真空器件一般是密封器件，包括微波管、显像管、光电倍增管、铯束管、气体激光管等，广泛应用于科学研究和工业生产当中。

电真空器件的内部需保持一定程度的真空或高真空，有的甚至是超高真空。为了达到真空度(压强)的设计值，在制造电真空器件时需对其进行复杂的工艺处理，如清洗、烘烤等，其中最重要的一道工序是排气。排气过程往往伴有加热，以加速释放出材料表面及内部的气体。这样随着排气过程的进行，出气率逐渐降低，最后真空度(压强)达到设计值。

然而对于密封的电真空器件，真空计是无法直接接入的，因此在排气过程中人们无法观察到电真空器件真空度的变化情况，更无法判断其压强是否达到了要求。

针对相关技术中密封的电真空器件真空度变化无法观察的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法，以解决相关技术中密封的电真空器件真空度变化无法观察的问题。

为了实现上述目的，本申请提供了一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)确定电真空器件的出气率q₀；

(2)建立电真空器件的出气率模型；

(3)将步骤(1)确定的出气率q₀代入步骤(2)建立的出气率模型，计算得出真空计临界压力值P₀；

(4)读取真空计的压力值P；

(5)将步骤(4)读取的压力值P与步骤(3)计算的真空计临界压力值P₀进行比较，判断电真空器件内部真空度是否达到设计值。

进一步的，步骤(1)中，电真空器件的出气率q₀依据电真空器件的真空度/压强设计值确定。

进一步的，步骤(2)中，电真空器件的出气率模型为排气台真空度P与电真空器件出气率q之间的一个数学关系。

进一步的，步骤(5)中：

如果P≤P₀，则电真空器件的真空度达到了设计值；

如果P＞P₀，则电真空器件的真空度未达到设计值。

进一步的，电真空器件为铯束管，铯束管的出气率q₀依据真空度设计值和静态放置时间共同确定。

进一步的，所述排气台包括由抽气机组、真空计、排气管道以及阀门，排气台真空度P为所述真空计所显示的压力值。

进一步的，电真空器件出气率模型的建立，主要包括以下步骤：