[发明专利]沉积掩模、制造其的方法和使用其制造显示装置的方法在审
申请号: | 202010974157.X | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN112501550A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 文敏浩;郭珍午;宋昇勇;李德重;李瑟;任星淳 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张晓;杨永良 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沉积 制造 方法 使用 显示装置 | ||
1.一种用于制造显示装置的沉积掩模,所述沉积掩模包括:
框架,包括第一开口;
第一构件,设置在所述框架的所述第一开口上方,并且包括围绕至少一个第二开口的第一部分和设置在所述第二开口中且与所述第一部分物理分离的第二部分;以及
第二构件,设置在所述第一构件上,并且包括连接到所述框架的第一连接部分和与所述第二部分叠置的第二网格部分。
2.根据权利要求1所述的沉积掩模,其中,所述第二部分被构造为在由所述沉积掩模制造的沉积膜中制造孔,并且连接到所述第二网格部分。
3.根据权利要求2所述的沉积掩模,其中,所述第二部分直接连接到所述第二网格部分。
4.根据权利要求3所述的沉积掩模,其中,所述第二部分利用激光被焊接到所述第二网格部分。
5.根据权利要求2所述的沉积掩模,所述沉积掩模还包括设置在所述框架的边缘上的不锈钢构件,其中,所述不锈钢构件连接到所述框架。
6.根据权利要求5所述的沉积掩模,其中:
所述第一构件包括基于所述框架的一个表面具有第一厚度的开口片;
所述第二构件包括基于所述开口片的一个表面具有第二厚度的金属片;以及
所述不锈钢构件基于所述框架的所述一个表面具有第三厚度;
其中,所述第三厚度比所述第一厚度和所述第二厚度的总和大。
7.根据权利要求6所述的沉积掩模,其中,所述第三厚度与所述第一厚度和所述第二厚度的总和之间的差为至少600μm。
8.根据权利要求5所述的沉积掩模,其中,所述不锈钢构件焊接到所述框架。
9.根据权利要求2所述的沉积掩模,其中,所述第二部分具有圆形剖面形状。
10.根据权利要求2所述的沉积掩模,其中,所述第一连接部分直接连接并焊接到所述框架。
11.根据权利要求2所述的沉积掩模,其中:
所述第一连接部分包括具有矩形形状的金属连接部分;并且
所述第二网格部分包括具有网格形状的金属网格部分。
12.根据权利要求11所述的沉积掩模,其中,所述金属网格部分包括:
第一线,在一个方向上延伸;以及
第二线,在与所述一个方向交叉的另一方向上延伸。
13.根据权利要求1所述的沉积掩模,所述沉积掩模还包括设置在所述第二网格部分与所述第二部分之间的连接图案,
其中,所述连接图案直接连接到所述第二网格部分和所述第二部分。
14.一种用于制造显示装置的沉积掩模,所述沉积掩模包括:
框架,包括第一开口;
第一构件,设置在所述框架的所述第一开口上方并且包括至少一个第二开口;以及
第二构件,设置在所述第一构件上,并且包括连接到所述框架的第一连接部分和与所述第一连接部分相邻设置且与所述第二开口叠置的第二支撑部分,
其中,所述第二支撑部分包括第二网格部分和被所述第二网格部分围绕的插塞。
15.根据权利要求14所述的沉积掩模,所述沉积掩模还包括设置在所述框架的边缘上并且连接到所述框架的不锈钢构件。
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