[发明专利]原子力显微测试系统及其样品台在审
| 申请号： | 202010975483.2 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112098680A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李江宇;明文杰;刘正浩;欧云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;但念念 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原子 显微 测试 系统 及其 样品 | ||
1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括透明本体及设于所述透明本体上的夹具，所述夹具用于将样品固定于所述透明本体的顶部，所述透明本体具有一椭球面，所述样品台还包括一反射层，所述反射层覆盖于所述椭球面的表面，所述透明本体的一侧面设有激光入射点，所述透明本体的顶面设有检测点，所述椭球面的长轴的两个焦点分别与所述激光入射点、检测点重合，从所述激光入射点入射的激光被所述反射层反射后从所述检测点出射。
2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述椭球面的长轴与所述透明本体的顶面之间的夹角为30°～80°。
3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述透明本体的底部具有一凹部，所述凹部朝向所述激光入射点和所述检测点的一面为所述椭球面。
4.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述夹具的材质为金属。
5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述夹具的材质为铜。
6.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述激光入射点所在的侧面为斜面。
7.根据权利要求6所述的样品台，其特征在于，所述夹具包括两个夹臂，所述两个夹臂设于所述透明本体相对的两个侧面上，所述两个夹臂关于所述激光入射点对称。
8.根据权利要求7所述的样品台，其特征在于，所述两个夹臂所在的两个侧面为斜面。
9.根据权利要求8所述的样品台，其特征在于，所述激光入射点所在的侧面、所述两个夹臂所在的两个侧面的倾斜角度相等且均为10°～85°。
10.一种原子力显微测试系统，其特征在于，所述原子力显微测试系统包括原子力显微镜及如权利要求1～9任一项所述的样品台，所述样品台固定于所述原子力显微镜的扫描台上。
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