[发明专利]一种铝靶材与铝背板的钎焊方法有效
| 申请号： | 202010976235.X | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112122726B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/20 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝靶材 背板 钎焊 方法 | ||
1.一种铝靶材与铝背板的钎焊方法，其特征在于，所述铝背板的焊接面设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第二凹槽；所述第一凹槽的深度为3.5-4mm；
所述第一凹槽的直径等于所述铝靶材的直径；
所述铝靶材焊接面设置有与所述铝背板焊接面第二凹槽相配合的凸起；
所述钎焊方法包括如下步骤：
（1）对铝靶材的焊接面进行喷砂处理至粗糙度为2-3μm，对铝背板的焊接面进行阳极氧化处理；所述阳极氧化处理中的电流密度为2.5-4A/dm2；所述阳极氧化中的电压为50-100V；所述阳极氧化的时间为30-50min；
（2）向铝背板的第一凹槽和第二凹槽内添加焊料后进行钎焊接，得到铝靶材组件。
2.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述第一凹槽与所述第二凹槽直径的差值为0.4-1.5mm。
3.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述第二凹槽的深度为3-3.5mm。
4.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述第二凹槽的深度和所述铝靶材焊接面凸起高度的差值为0.05-0.25mm。
5.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤（1）所述阳极氧化处理中的电解液为浓度为50-90g/L的硫酸。
6.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤（2）所述钎焊接中的焊料为Sn91-Zn焊料。
7.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤（2）所述钎焊接的温度为270-290℃。
8.如权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，步骤（2）所述钎焊接完成后进行随炉加压冷却。
9.如权利要求8所述的钎焊方法，其特征在于，所述加压的终点压力为0.4-0.5MPa。
10.如权利要求8所述的钎焊方法，其特征在于，所述随炉加压冷却的时间≥15min。
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