[发明专利]一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将氧化钕、氧化铝、氧化铟和氧化锌混合研磨制浆得到混合浆料，用混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；

S2、将步骤S1所得的造粒粉依次进行模压和等静压成型得到靶材素坯；

S3、将步骤S2得到的靶材素坯进行烧结得到烧结坯；其中，烧结包括：脱脂、烧成和降温三个阶段；

S4、将步骤S3得到的烧结坯经机械加工和邦定得到大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材。

2.根据权利要求1所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，步骤S1中，氧化钕、氧化铝、氧化铟和氧化锌的质量比0.1-5：0-5：50-95：5-50。

3.根据权利要求1或2所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，步骤S1中，混合浆料的粒径D50为0.1-1μm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，优选地，步骤S1中，造粒粉的粒径D50为5-60μm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，步骤S2中，模压的压力为25-60MPa，等静压的压力为180-450MPa。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，步骤S2中，模压的时间为30-60s，等静压的时间为120-480s。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，脱脂阶段为：在空气气氛中，以0.2-0.8℃/min的升温速度升温至500℃，保温6-12小时。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，烧成阶段为：在氧气气氛中，以0.2-0.8℃/min的升温速度升温至1000℃，保温3-8小时；再以1.5-2.5℃/min的升温速度升温至1450-1550℃，保温5-12小时。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，降温阶段为：在惰性气体气氛中，以1.0-1.5℃/min的降温速度降至500℃；停止通入惰性气体，以1.0-1.5℃/min的降温速度降至室温。

10.一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材，其特征在于，采用权利要求1-9中任一项所述的大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法制得。