[发明专利]节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法

说明书

本发明为一种节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第三冷侧输送管路、一吸附转轮及一烟囱，并通过在该脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间、该脱附浓缩气体管路与该第三冷侧输送管路之间、该第一冷侧输送管路与该第三冷侧输送管路之间或是于该脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，借此，当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能通过该冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。

技术领域

本发明涉及一种节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，尤指一种当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC) 的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉进行燃烧，再将燃烧后的气体输送到烟囱进行排放。

因此，本发明人有鉴于上述缺失，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，以提供使用便利性，为本发明人所要研发的发明动机。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉 (TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第三冷侧输送管路、一吸附转轮及一烟囱，并通过在该脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间、该脱附浓缩气体管路与该第三冷侧输送管路之间、该第一冷侧输送管路与该第三冷侧输送管路之间或是于该脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，借此，当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能通过该冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉 (TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，通过在该脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间、该脱附浓缩气体管路与该第三冷侧输送管路之间或是该第一冷侧输送管路与该第三冷侧输送管路之间所增设的冷侧比例风门，以当该第一冷侧输送管路内或是该第三冷侧输送管路内的挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能通过该冷侧比例风门来将该脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体输送到该第一冷侧输送管路内或是该第三冷侧输送管路内，使该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体或是该第三冷侧输送管路内的脱附浓缩气体能与该脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的该脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体能让温度较高的该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体或是该第三冷侧输送管路内的脱附浓缩气体进行降温，借此，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的使用性。

本发明的另一目的，还在于提供一种节能型单转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法，通过于该脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，而该冷侧比例风门的另一端供外气进入，其中该外气可为新鲜空气或是其他气体，以当由该吸附转轮的脱附区所产生的脱附浓缩气体在进入该脱附浓缩气体管路后，且该脱附浓缩气体管路内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可通过该冷侧比例风门的另一端所输入外气来进行调节，使该脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果，进而增加整体的操作性。