[发明专利]传感器元件、气体传感器和气体传感器单元

权利要求书

1.一种传感器元件，其特征在于：

该传感器元件具有：

测量室；

泵单元，该泵单元具有：固体电解质体；内侧电极，其形成在所述固体电解质体的表面，且暴露于所述测量室；及外侧电极，其形成在所述固体电解质体的表面，配置在所述测量室的外部，该泵单元通过对被导入到所述测量室内的待测气体中的氧进行抽出和抽入，来调整所述测量室内的氧浓度；以及

基准单元，该基准单元能够产生与所述测量室内的所述待测气体中的氧浓度相应的电压，

所述内侧电极和所述外侧电极中的至少一电极含有贵金属和所述固体电解质体的成分，且在沿着厚度方向观察该至少一电极的剖面的情况下，该至少一电极具有由所述贵金属构成的贵金属区域、由所述固体电解质体的成分构成的固体电解质体区域、以及所述贵金属和所述固体电解质体的成分共存的共存区域，

所述至少一电极的所述剖面中，用{所述共存区域/(所述贵金属区域+所述固体电解质体区域+所述共存区域)}表示的所述共存区域的面积比率SR为15.5％以上且小于30％。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，

该传感器元件还具有NOx检测单元，该NOx检测单元用于测量调整所述氧浓度后的所述待测气体中的氮氧化物的浓度，

所述至少一电极至少包含所述内侧电极，

所述内侧电极的所述剖面中的所述共存区域的面积比率SR为15.5％以上且小于30％。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其中，

所述共存区域的面积比率SR为16％以上且为27％以下。

4.一种气体传感器，其中，

该气体传感器具有权利要求1～3中任一项所述的传感器元件和对所述传感器元件进行保持的主体金属壳体。

5.一种气体传感器单元，该气体传感器单元的特征在于，

该气体传感器单元具有：

权利要求4所述的气体传感器；及

气体传感器控制部，其与所述气体传感器相连接，

所述气体传感器控制部对流向所述泵单元的电流进行反馈控制以使所述基准单元的电位为一定。