[发明专利]一种喷墨打印真空干燥装置及方法

说明书

本申请公开了一种喷墨打印真空干燥装置及方法，所述喷墨打印真空干燥装置包括一腔室，具有相互隔离的打印腔室和干燥腔室，所述打印腔室包围所述干燥腔室，所述干燥腔室的上侧具有阀门；一打印载台，设于所述打印腔室内；一承载移动机构，设于所述打印载台上，用于承载待打印的玻璃基板并带动所述玻璃基板移动；一喷墨机构，设于所述打印腔室内，且位于所述承载移动机构的上方；一升降机构，设于所述干燥腔室的阀门的上方；一平移机构，设于所述承载移动机构和所述升降机构之间，用以将所述承载移动机构上的玻璃基板平移传送至所述升降机构上；以及一干燥载台，设于所述干燥腔室内。

技术领域

本申请涉及光电探测器技术领域，尤其涉及一种喷墨打印真空干燥装置及方法。

背景技术

目前OLED的发展趋势向着喷墨打印的方向进行，在喷墨打印的过程中，分别有打印、干燥、烘烤等工序，OLED中需要打印的膜层至少有三层，包括空穴注入层、传输层和发光层，每一膜层打印后均需进行干燥、烘烤。

玻璃在干燥过程中，需要进行快速均匀的溶剂挥发使膜层达到高度均匀性，因此，从打印完成到真空干燥之间的时间是非常重要的，尽可能的需要在液滴开始挥发前进行干燥，以保证干燥之后的膜厚均匀性。

另外，在玻璃的传送过程中，也有可能发生墨滴微小的位移，使墨滴溢出或者中心变化，也会导致后续的膜厚发生变化。

因此，确有必要来开发一种新型的喷墨打印真空干燥装置，以克服现有技术的缺陷。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种喷墨打印真空干燥装置，其能够解决现有技术中从打印完成到真空干燥之间液滴挥发导致的玻璃膜厚不均的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种喷墨打印真空干燥装置，包括一腔室，具有相互隔离的打印腔室和干燥腔室，所述打印腔室包围所述干燥腔室，所述干燥腔室的上侧具有阀门；一打印载台，设于所述打印腔室内；一承载移动机构，设于所述打印载台上，用于承载待打印的玻璃基板并带动所述玻璃基板移动；一喷墨机构，设于所述打印腔室内，且位于所述承载移动机构的上方；一升降机构，设于所述干燥腔室的阀门的上方；一平移机构，设于所述承载移动机构和所述升降机构之间，用以将所述承载移动机构上的玻璃基板平移传送至所述升降机构上；以及一干燥载台，设于所述干燥腔室内。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述承载移动机构包括气浮装置，所述气浮装置，用以对所述玻璃基板形成浮力，所述气浮装置包括若干第一陶瓷孔，贯穿所述打印载台；若干第一气泵，分布于所述第一陶瓷孔的下方，每一第一气泵对应连通一所述第一陶瓷孔。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述承载移动机构还包括吸取装置，用以对所述玻璃基板形成吸附力，所述吸取装置包括一第一金属墙和一第二金属墙，所述第一金属墙和所述第二金属墙平行且相对设置，且位于所述打印载台，所述第一陶瓷孔设于所述第一金属墙和第二金属墙之间；若干第二陶瓷孔，分布于所述第一金属墙和所述第二金属墙上，每一第二陶瓷孔贯穿所述第一金属墙或者所述第二金属墙；若干第二气泵，分布于所述第一金属墙远离所述第二金属墙的一侧和所述第二金属墙远离所述第一金属墙的一侧，每一所述第二气泵连通于所述第一金属墙上的所述第二陶瓷孔或所述金属墙上的第二陶瓷孔。

其中，所述吸取装置对所述玻璃基板形成的吸附力使得所述玻璃基板平稳地悬浮于所述打印载台上，使得所述喷墨机构喷出的液滴平稳地打印在所述玻璃基板上。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述第一金属墙和所述第二金属墙均具有一长度方向，在所述第一金属墙和所述第二金属墙上的所述第二陶瓷孔均沿所述第一金属墙和所述第二金属墙的长度方向排列；根据所述玻璃基板所需的移动方向，部分第二气泵工作，部分第二气泵停止工作，或者部分第二气泵增大功率，部分第二气泵减小功率。