[发明专利]一种脉冲激光单粒子效应试验等效LET计算方法

权利要求书

1.一种脉冲激光单粒子效应试验等效LET计算方法，其特征在于，依据脉冲激光与重离子在器件敏感体积内沉积的电荷量相等时，脉冲激光和重离子对器件引起的单粒子效应是等效的，包括以下步骤：

(1)根据被测器件DUT的尺寸确定器件的敏感面积；

(2)通过脉冲激光试验的z向扫描，确定敏感深度z；

(3)根据敏感面积和敏感深度确定敏感体积；

(4)计算分析器件内的载流子分布密度；

(5)在RPP平行六面体模型的敏感体积内对载流子分布密度进行积分计算得到沉积电荷Q_L，敏感体积的几何形状为平行六面体，敏感体积内的电荷收集是均匀的，敏感体积定义了载流子分布密度(CD)积分运算的上下限，通常由RPP模型的横向尺寸和轴向尺寸决定；

RPP横向尺寸，就是DUT的敏感面积，当敏感面积比载流子分布区域大得多时，认为敏感面积无限大；当敏感面积比载流子分布区域小时，RPP横向尺寸即是DUT的几何尺寸；

RPP轴向尺寸，就是敏感深度z，当被测器件DUT的电荷收集深度确定时，敏感深度z由被测器件的几何尺寸决定；

当被测器件的敏感深度z未被明确定义时，所述敏感深度z由重离子的电荷收集试验数据给出；

重离子沉积电荷Q_HI与试验观测到的收集电荷之间关系为：

Q_HI＝LET_HI×z

敏感深度z为Q_HI对LET_HI的斜率；

对于既没有定义敏感深度，也未知电荷收集效率的器件，可通过分析脉冲激光产生的“等效收集电荷(CC)”来确定敏感深度z，在RPP模型中，这意味着脉冲激光产生的沉积电荷与重离子产生的相等，则有：

Q_L＝LET_HI×z

然后不断调整修正z值直至公式中的所有试验数据相匹配，就可确定敏感深度z；

(6)脉冲激光诱发单粒子效应时的等效LET_L的值为：

LET_L[MeV·cm²/mg]＝(E_p/ρ)×Q_L[pC]/z[μm]

式中，Q_L是敏感体积内的激光诱发沉积电荷；E_p是材料中产生一个电子-空穴对的平均能量；ρ是激光入射的材料的密度；

所述被测器件DUT的材料包括硅、砷化镓、碳化硅或氮化镓。