[发明专利]基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置及方法在审
| 申请号： | 202010983965.2 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN111954360A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邓云坤;赵虎;王科;李兴文;赵现平;彭晶;焦琳;赵海波;周年荣 | 申请（专利权）人： | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 650217 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 混合气体 大面积 等离子体 发生 装置 方法 | ||
1.一种基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，包括放电腔体(1)、进气口(2)、出气口(3)、混充模块(4)、抽真空模块(5)、电极(6)和高压交流电源(7)；
所述放电腔体(1)为立方体结构，所述放电腔体(1)上设置有进气口(2)和出气口(3)；
所述进气口(2)与混充模块(4)连接，所述出气口(3)与抽真空模块(5)连接；
所述混充模块(4)包括氦气储气罐(41)和氩气储气罐(42)，所述氦气储气罐(41)的氦气和氩气储气罐(42)的氩气在所述进气口(2)处混合；
所述放电腔体(1)的壳体外部相对设置电极(6)，所述电极(6)与高压交流电源(7)连接。
2.根据权利要求1所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述混充模块(4)还包括流量计(43)和输送管道(44)，所述输送管道(44)的进口分别连接所述氦气储气罐(41)和所述氩气储气罐(42)、出口与所述进气口(2)连接。
3.根据权利要求1所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述放电腔体(1)的材料采用石英玻璃、有机玻璃，壁厚为1-10mm。
4.根据权利要求1所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述混充模块(4)中氦气-氩气混合气体中氩气体积比为1％～50％。
5.根据权利要求4所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述放电腔体(1)的充气压力为0.01～0.2MPa。
6.根据权利要求1所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述进气口(2)处安装有真空表(21)。
7.根据权利要求1所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，其特征在于，所述高压交流电源(7)与所述电极(6)之间安装有示波器(8)。
8.一种基于混合气体的大面积冷等离子体发生方法，其特征在于，利用权利要求1-7任一项所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置，所述方法包括：
步骤一：采用抽真空模块对放电腔体进行抽真空操作；
步骤二：对放电腔体内充入0.1-1个大气压的氦气或氩气，重复步骤一；
步骤三：重复步骤一和步骤二反复，直到排干净放电腔体内的空气；
步骤四：按预设气体体积比和充气压力，在放电腔体内充入氦气-氩气混合气体；
步骤五：调节高压交流电源至放电腔体内产生稳定的大面积、均匀等离子体。
9.根据权利要求8所述的基于混合气体的大面积冷等离子体发生方法，其特征在于，所述预设气体体积比为氦气-氩气混合气体中氩气体积比为1％～50％，充气压力为0.01～0.2MPa。
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