[发明专利]掩模组件、制造显示装置的设备及制造显示装置的方法

权利要求书

1.掩模组件，包括：

掩模框架，包括框架本体部分和多个分隔件，所述框架本体部分布置在所述掩模框架的外部处，并且所述多个分隔件将所述框架本体部分的内部划分成多个开口，所述多个分隔件中的在第一方向上布置的分隔件与在第二方向上布置的分隔件彼此连接；以及

多个掩模片，布置在所述掩模框架的顶表面上，与所述掩模框架联接，并且包括至少一个图案开口，所述多个掩模片在所述第一方向上彼此分离。

2.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，所述多个分隔件包括：

第一分隔件，连接到所述框架本体部分并且在所述第一方向上布置；以及

第二分隔件，连接到所述框架本体部分和所述第一分隔件，并且在所述第二方向上布置。

3.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，所述多个分隔件中的至少一个分隔件的侧面是锥形的。

4.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，所述多个分隔件中的至少一个分隔件的顶表面和底表面中的一个的宽度小于所述至少一个分隔件的所述顶表面和所述底表面中的另一个的宽度。

5.用于制造显示装置的设备，所述设备包括：

室，在所述室中布置显示衬底；

掩模组件，在所述室的内部布置成面对所述显示衬底；以及

沉积源，在所述室的内部布置成面对所述掩模组件，并向所述显示衬底供应沉积材料，

其中，所述掩模组件包括：

掩模框架，包括框架本体部分和多个分隔件，所述框架本体部分布置在所述掩模框架的外部处，并且所述多个分隔件将所述框架本体部分的内部划分成多个开口，所述多个分隔件中的在第一方向上布置的分隔件与在第二方向上布置的分隔件彼此连接；以及

多个掩模片，布置在所述掩模框架的顶表面上，与所述掩模框架联接，并且包括至少一个图案开口，所述多个掩模片在所述第一方向上彼此分离。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述多个分隔件包括：

第一分隔件，连接到所述框架本体部分并且在所述第一方向上布置；以及

第二分隔件，连接到所述框架本体部分和所述第一分隔件，并且在所述第二方向上布置。

7.根据权利要求5所述的设备，其中，所述多个分隔件中的至少一个分隔件的侧面是锥形的。

8.根据权利要求5所述的设备，其中，所述多个分隔件中的至少一个分隔件的顶表面和底表面中的一个的宽度小于所述至少一个分隔件的所述顶表面和所述底表面中的另一个的宽度。

9.制造显示装置的方法，所述方法包括：

布置掩模框架，所述掩模框架包括框架本体部分和多个分隔件，所述框架本体部分布置在所述掩模框架的外部处，并且所述多个分隔件将所述框架本体部分的内部划分成多个开口，所述多个分隔件中的在第一方向上布置的分隔件与在第二方向上布置的分隔件彼此连接；

在所述掩模框架上布置第一掩模片构件，所述第一掩模片构件包括第一遮挡部分和第一图案部分，在所述第一图案部分中布置有至少一个第一图案开口；

将所述第一遮挡部分和所述第一图案部分固定在所述掩模框架上；

去除所述第一遮挡部分；

布置包括第二遮挡部分和第二图案部分的第二掩模片构件，使得所述第一图案部分对应于所述第二遮挡部分，并且所述第二图案部分对应于所述第一遮挡部分，在所述第二图案部分中布置有至少一个第二图案开口；

将所述第二遮挡部分和所述第二图案部分固定在所述掩模框架上；以及

去除所述第二遮挡部分。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括在所述第一掩模片构件的纵向方向上拉紧所述第一掩模片构件；以及

在所述第二掩模片构件的纵向方向上拉紧所述第二掩模片构件。