[发明专利]一种氢氟酸全自动生产系统及其生产工艺在审

专利信息
申请号: 202010989777.0 申请日: 2020-09-18
公开(公告)号: CN112028021A 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 江伟;胡洪峰;谢钺 申请(专利权)人: 宣城亨泰电子化学材料有限公司
主分类号: C01B7/19 分类号: C01B7/19
代理公司: 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 代理人: 殷娟
地址: 242000 安徽省宣城市宣*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 氢氟酸 全自动 生产 系统 及其 生产工艺
【说明书】:

发明公开了一种氢氟酸全自动生产系统及其生产工艺,包括反应炉和洗涤塔,所述反应炉和洗涤塔之间通过输料管连通,所述输料管的中部转动安装有转动环,且转动环和输料管之间设置有密封机构,所述输料管的内侧转动安装有螺旋杆,所述转动环的内侧壁伸入输料管内部与螺旋杆固定连接,所述转动环由设置与输料管上的驱动机构驱动转动;所述输料管的进气端和出气端均设置有流量计,且两个流量计均与控制器电性连接,所述控制器与驱动机构电性连接。该生产系统,可以保证反应炉和洗涤塔之间的输料管保持畅通,避免萤石粉在产生气体的鼓动下涌向输料管,造成输料管堵塞或者影响后续过滤的情况,而该生产工艺,对于萤石粉处理更加细致,加快反应效率。

技术领域

本发明属于氢氟酸生产设备技术领域,具体涉及一种氢氟酸全自动生产系统及其生产工艺。

背景技术

工业无水氟化氢是一种用途广泛的化工产品、外观为无色发烟液体的99%以上的氢氟酸,在低温下为无色透明的液体,在减压或高温下易气化,主要用作制取氟盐、氟卤烷烃、氟致冷剂、腐蚀玻璃、浸渍木材和电解元素氟等。无水氟化氢为反应性极强的物质,能与各种物质发生反应,易溶于水,制成氢氟酸。高纯度的氢氟酸可作为强酸性清洗剂、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都起着十分重要的作用。

在氟化氢实际生产过程中,在回转反应炉中产生大量氟化氢气体,鼓动着萤石粉向输料管内飞扬,而较多的萤石粉容易粘连到输料管的内壁,一端时间的积累后会造成管道堵塞,气流不通畅,影响到后续的过滤洗涤等步骤,并且在原有的工艺中,对于萤石的加工不够细致,在生产中,萤石的碳酸钙参与到反应中,产生硫酸钙覆着在萤石表面,降低反应效率,从而影响到加工进程,所以需要针对性的对生产系统和相应的生产工艺进行改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种液体截流装置投入使用,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种氢氟酸全自动生产系统,包括反应炉和洗涤塔,所述反应炉和洗涤塔之间通过输料管连通,所述输料管的中部转动安装有转动环,且转动环和输料管之间设置有密封机构,所述输料管的内侧转动安装有螺旋杆,所述转动环的内侧壁伸入输料管内部与螺旋杆固定连接,所述转动环由设置与输料管上的驱动机构驱动转动;

所述输料管的进气端和出气端均设置有流量计,且两个流量计均与控制器电性连接,所述控制器与驱动机构电性连接。

优选的,所述密封机构是由陶瓷密封环、限位环和O型圈,所述陶瓷密封环固定设置于转动环靠近输料管的侧面,所述输料管上焊接有一对限位环,且转动环转动设置于两个限位环之间,所述O型圈粘贴与限位环的侧面。

优选的,所述O型圈的型号为Kairez-4079。

优选的,所述驱动机构是由支架、驱动电机、驱动齿轮以及环状齿轮,所述驱动电机通过支架固定安装于输料管上,所述环状齿轮焊接于转动环的中部,所述驱动电机的输出轴上固定安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮和环状齿轮齿接,所述控制器固定安装于支架的右侧,且控制器与驱动电机电性连接。

本发明还提供了一种氢氟酸生产工艺,包括以下步骤:

S1、将萤石通过粉碎机粉碎后,投入浮选池同时加入添加剂进行浮选处理,再投入回转干燥器内,充分干燥;

S2、将萤石粉通过振动筛筛入预混合器内,再通入硫酸,并且进行加热,进行初步反应;

S3、将S2步骤中反应后物质通入到回转反应炉内,持续加热同时搅拌,持续反应生成氢氟酸气体和石膏渣,石膏渣通过反应炉下端排出;

S4、在S3步骤中产生的氢氟酸气体通过管道进入到洗涤塔中,除去氢氟酸气体的灰尘和水;

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