[发明专利]一种声学谐振器组件及滤波器

权利要求书

1.一种声学谐振器组件，其特征在于，所述声学谐振器组件包括至少两个相互垂直连接的声学谐振器，所述声学谐振器包括：分别设置在衬底上的声学镜、底电极层、压电层以及顶电极层，所述声学谐振器的有效区域由所述声学镜、所述底电极层、所述压电层和所述顶电极层的重叠部分定义，所述声学谐振器还包括支撑层，其设置在所述声学镜投影于所述衬底的区域外围的所述衬底或所述压电层上，所述至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过在所述支撑层上进行连接，所述声学谐振器的至少一侧与另一声学谐振器的相对应的至少一侧的所述顶电极层或者与所述顶电极层连接的引线向两个所述声学谐振器中间延伸并连接形成悬浮状结构。

2.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述声学谐振器的顶电极层具有对外连接部，所述对外连接部从所述顶电极层的至少一侧延伸到所述支撑层上方经由所述支撑层延伸并且连接到外部。

3.根据权利要求2所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述对外连接部形成阶梯状结构，并与所述压电层以及所述支撑层形成空气隙。

4.根据权利要求3所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述对外连接部的阶梯状结构中至少具有两个台阶。

5.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述声学谐振器的顶电极层具有质量负载部，所述质量负载部架设在经由所述支撑层并在所述压电层上延伸形成的引线上，所述引线与所述压电层以及所述支撑层形成空气隙。

6.根据权利要求3或5所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述空气隙在所述衬底上的投影至少有一部分位于所述声学镜内或在所述声学镜的边界。

7.根据权利要求3或5所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述空气隙中填充有低介电常数材料。

8.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述悬浮状结构的末端向所述支撑层方向延伸并未与所述支撑层连接。

9.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述悬浮状结构的末端向所述有效区域中间延伸。

10.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过键合或焊接的方式进行连接。

11.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过设置在所述支撑层上的键合层相互键合，键合连接后一个所述声学谐振器的顶电极层与另一声学谐振器的顶电极层在有效区域内的距离为10-20μm。

12.根据权利要求1所述的声学谐振器组件，其特征在于，所述声学谐振器的电极与另一声学谐振器的电极自由组合连接从而形成串联结构和/或并联结构。

13.一种通过权利要求1-12中任一项所述的声学谐振器组件连接形成滤波器。

14.根据权利要求13所述的滤波器，其特征在于，相邻两个并排的所述声学谐振器组件所形成的滤波器之间设置有金属隔离层。

15.根据权利要求13所述的滤波器，其特征在于，相邻两个并排的所述声学谐振器组件的所述声学谐振器的所述底电极层在同一层并且互相连接。

16.根据权利要求13所述的滤波器，其特征在于，所述声学谐振器还包括声表面波谐振器，所述声表面波谐振器的叉指换能器具有从所述叉指换能器的至少一侧延伸到所述支撑层上方并且连接到外部的连接部，所述连接部与所述衬底以及所述支撑层形成空气隙。

17.根据权利要求16所述的滤波器，其特征在于，所述滤波器中的所述声学谐振器包括至少一个所述声表面波谐振器。