[发明专利]一种蓝宝石抛光组合物及其应用有效

专利信息
申请号: 202010992178.4 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN112175524B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 崔晓坤;王庆伟;卞鹏程 申请(专利权)人: 万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 264006 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 抛光 组合 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述蓝宝石抛光组合物由以下重量百分比的组分组成,以抛光组合物总质量计:

所述的速率促进剂选自氯化盐、硝酸盐、硫酸盐、硅酸盐、磷酸盐或硼酸盐中的任一种或几种;

所述的增稠剂选自羟乙基纤维素、羟甲基纤维素、聚丙烯酸、果胶或膨润土中的任一种或几种;

所述的润湿剂选自聚乙二醇400、聚乙二醇600、甘油中的任一种或几种。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的硅溶胶的粒径范围为30~200nm。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的硅溶胶的粒径范围为80~120nm。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的速率促进剂选自氯化盐。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的增稠剂选自羟甲基纤维素、聚丙烯酸、果胶或膨润土中的任一种或几种。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的pH调节剂选自乙二胺、羟乙基乙二胺或四甲基氢氧化铵中的任一种或几种。

7.根据权利要求1或6所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的蓝宝石抛光组合物的pH值范围为7~12。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的蓝宝石抛光组合物的pH值范围为9~11。

9.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物,其特征在于,所述的润湿剂选自聚乙二醇400。

10.权利要求1~9任一项所述的蓝宝石抛光组合物,用于蓝宝石、陶瓷或不锈钢衬底的化学机械抛光。

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