[发明专利]一种浸没式光刻机浸液温控装置

权利要求书

1.一种浸没式光刻机浸液温控装置，其特征在于，包括：第一级温控模块和第二级温控模块；

所述第一级温控模块包括工艺冷却水PCW循环回路和超纯水UPW循环回路，从浸没式光刻机中回收的UPW流入所述UPW循环回路，所述第一级温控模块通过调节PCW循环回路中PCW的温度，并通过将PCW循环回路和UPW循环回路热交换来调节从光刻机中回收的UPW的温度，使从浸没式光刻机中回收的UPW的温度达到稳定的设定值；所述第一级温控模块通过对PCW循环回路的加热功率和流量控制，实现对PCW的温度控制；

所述UPW循环回路中流通UPW液体，其通路的部件包括：第二循环泵和热交换器；所述第二循环泵的输出端连接所述热交换器的第三端，所述第二循环泵的输入端连接所述热交换器的第四端；从浸没式光刻机中回收的UPW流入所述热交换器的第三端；所述第二循环泵用于稳定所述UPW循环回路的流量，并使经过热交换器温控之后的部分UPW流回热交换器第三端，以提高流回热交换器第三端的UPW和热交换器第三端处的UPW混合液的温度稳定性；所述热交换器用于实现PCW循环回路和UPW循环回路之间的热交换；

所述PCW循环回路中流通PCW液体，其通路的部件包括：第一循环泵、热交换器、单向阀、第一流量传感器以及第一温度传感器；所述第一级温控模块还包括：第一流量伺服阀、第一加热器、第二温度传感器、第二流量传感器、第一控制器以及第三温度传感器；所述第一循环泵的输入端连接热交换器的第一端，输出端连接第一流量伺服阀的输入端；所述第一流量伺服阀的输出端输出PCW；厂务输入PCW端流入的PCW流入所述第一加热器的输入端，所述第一加热器的输出端连接所述热交换器的第二端；所述单向阀的输入端连接所述第一循环泵的输出端，所述单向阀的另一端连接所述加热器的输出端和所述热交换器的第二端；所述第一温度传感器用于检测所述PCW循环回路中PCW的温度，所述第二温度传感器用于检测流入所述第一加热器的PCW的温度是否保持稳定；所述第一循环泵用于调节PCW循环回路的流量；所述第一流量传感器用于检测PCW循环回路的流量，所述第二流量传感器用于检测流出所述PCW循环回路的流量；所述第一级温控模块还包括：第三温度传感器；所述第三温度传感器用于检测流出热交换器第四端的UPW温度；所述第一控制器用于结合第一温度传感器和第三温度传感器的检测结果控制第一加热器的加热功率，以及结合第一流量传感器和第二流量传感器检测的结果控制第一流量伺服阀，以控制流进流出PCW循环回路的PCW流量；通过结合加热功率和PCW流量的双重控制实现对PCW循环回路中PCW升温和降温的双向温度控制；

所述UPW循环回路的部件还包括：热缓冲罐；所述热缓冲罐的一端连接所述热交换器的第四端，所述热缓冲罐的另一端连接所述第二循环泵的输入端，且所述热缓冲罐的另一端作为所述UPW循环回路的输出端；所述热缓冲罐用于对UPW循环回路中流动的UPW进行充分混合，抑制UPW温度波动；

所述第二级温控模块用于将经所述第一级温控模块调节温度后的UPW液体分成两路UPW通路，并基于两路UPW通路热负载的差异调节两路UPW的温度使得两路UPW的温度均温度保持在所述设定值；所述第二级温控模块通过对两路UPW的加热功率和流量均进行控制，以控制两路UPW的温度均稳定保持在所述设定值；各路UPW通路热负载对应各路UPW通路的温度扰动量；所述第二级温控模块流出的两路UPW注入所述浸没式光刻机，一路UPW用于填充浸没式光刻机的UPW浸没流场，另一路UPW用于密封所述UPW浸没流场，使得所述浸没式光刻机能够基于所述UPW 浸没流场工作。