[发明专利]一种氧化镓晶片精细研磨液及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化镓晶片精细研磨液，其特征在于，所述研磨液包括氧化铝粉、水和悬浮液，所述氧化铝粉、水、悬浮液的重量比为（2-4）：（4-8）：（0.5-2）；所述悬浮液包括分散剂、悬浮剂、pH调节剂和抗氧化剂，所述悬浮液中分散剂、悬浮剂、pH调节剂、抗氧化剂的重量比为：（0.25-1.75）：（4.5-6.5）：（0.25-1.75）：（0.05-0.5）；所述分散剂为聚乙二醇、聚丙二醇中的任意一种或两种；所述悬浮剂为三聚磷酸钠；所述pH调节剂为碱性调节剂；所述抗氧化剂为茶多酚。

2.根据权利要求1所述的一种氧化镓晶片精细研磨液，其特征在于：所述氧化铝粉、水、悬浮液的重量比为（2.5-3.5）：（5-7）：（0.75-1.5）；所述分散剂、悬浮剂、pH调节剂的重量比为（0.5-1.25）：（5-5.5）：（0.5-1.5）。

3.权利要求1-2中任一所述的一种氧化镓晶片精细研磨液的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

（1）先将悬浮液的各原料组分充分混合均匀，然后将悬浮液溶于水中，再将氧化铝粉与溶液混合均匀，得到混合液A；

（2）将步骤（1）获得的混合液A用1000-1500目的筛网过滤，获得混合液B；

（3）将步骤（2）获得的混合液B于频率为25-35kHz、功率为250-350W的超声条件下处理30-45min，即得研磨液。