[发明专利]一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置

权利要求书

1.一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，包括：

压电微泵，所述压电微泵包括共振板(1)、压电振子(2)和电极组件(3)，所述共振板(1)和压电振子(2)依次层叠设置，所述压电振子(2)的远离所述共振板(1)的一侧连接有电极组件(3)；

支承板(4)，所述共振板(1)的远离压电振子(2)的一侧被所述支承板(4)支承，所述共振板(1)与所述支承板(4)之间存有间隙以形成进气腔(6)，所述支承板(4)对所述压电微泵进行支承和约束。

2.根据权利要求1所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述共振板(1)通过连接部(5)与压电振子(2)连接，所述连接部(5)为弹性连接部，所述连接部(5)与所述压电振子(2)的任意位置连接；或者，所述连接部(5)为刚性连接部，所述连接部(5)与所述压电振子(2)的波节或波节附近无振动或振动很小的位置连接。

3.根据权利要求2所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述共振板(1)的远离所述压电振子(2)的面上形成有凸起(11)，所述连接部(5)和/或所述压电振子(2)上形成有出气通道，所述共振板(1)上设置有进气孔(13)，所述进气孔(13)与所述凸起(11)内周的凹陷部(12)连通。

4.根据权利要求3所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述出气通道包括设置在所述连接部(5)上的第一出气孔(512)和/或设置在所述连接部(5)与所述压电振子(2)连接的连接面上的出气槽(212)和/或所述连接面附近的第二出气孔(213)。

5.根据权利要求3所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述压电振子(2)包括层叠设置的振动板(21)和压电元件(22)，所述振动板(21)靠近所述共振板(1)设置，所述振动板(21)的靠近所述共振板(1)的面上围绕所述进气孔(13)设置有凹槽(211)。

6.根据权利要求3-5任一项所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述支承板(4)与所述凸起(11)连接以支承所述压电微泵，所述支承板(4)、共振板(1)和凸起(11)共同围设形成进气腔(6)，所述支承板(4)上开有与所述进气腔(6)连通的第一进气通孔(41)。

7.根据权利要求3-5任一项所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述凸起(11)通过连接板(9)被所述支承板(4)支承，所述连接板(9)与所述支承板(4)连接，所述连接板(9)与所述支承板(4)之间存有间隙以形成进气过渡腔(42)，所述凸起(11)与所述连接板(9)连接，所述连接板(9)、共振板(1)和凸起(11)共同围设形成进气腔(6)。

8.根据权利要求7所述的一种压电微泵的错层支承结构，其特征在于，所述支承板(4)上开有与所述进气过渡腔(42)连通的第一进气通孔(41)，所述连接板(9)上开有连通所述进气过渡腔(42)和所述进气腔(6)的第二进气通孔(91)。

9.一种气体控制装置，其特征在于，包括：

权利要求1-8任一项所述的一种压电微泵的错层支承结构；

壳体(7)，所述壳体(7)配合所述支承板(4)罩设在所述压电微泵的外部，并与所述支承板(4)密封连接以形成出气腔(8)，所述壳体(7)上设置有第一出气通孔(711)。

10.根据权利要求9所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述压电微泵的远离所述共振板(1)的一侧被所述壳体(7)支承。

11.根据权利要求10所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述电极组件(3)被所述壳体(7)支承。