[发明专利]一种高纯锗探测器在审
申请号: | 202010997914.5 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN112086537A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 田阳;李玉兰;杨铭鑫 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L31/115 | 分类号: | H01L31/115;H01L31/0224;H01L31/028 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 蒋冬梅;栗若木 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 探测器 | ||
1.一种高纯锗探测器,包括:P型高纯锗晶体;其中,所述P型高纯锗晶体为圆柱形,一个以上端面设置有环形的保护电极,中心设置有作为电子阻挡层的中心电极,外表面除设置保护电极的区域设置有作为空穴阻挡层的外表面电极,所述中心电极和所述外表面电极为同轴电极。
2.根据权利要求1所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述外表面电极和所述保护电极之间设置有第一预设间距的空隙;所述保护电极和所述中心电极之间设置有第二预设间距的空隙。
3.根据权利要求1所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述高纯锗探测器还包括:与所述同轴电极连接的读出电子学,所述读出电子学设置为:读出由所述P型高纯锗晶体内的空穴和电子产生的感应电流信号的值。
4.根据权利要求3所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述读出电子学与所述同轴电极中的所述中心电极和/或所述外表面电极连接。
5.根据权利要求1~4任一项所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述中心电极的通孔或盲孔直径范围为0.1~1毫米。
6.根据权利要求1~4任一项所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述P型高纯锗晶体的杂质浓度位于以下取值范围内:0.3×1010厘米-3~2.5×1010厘米-3。
7.根据权利要求6所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述P型高纯锗晶体的杂质浓度为:1.0×1010厘米-3。
8.根据权利要求1~4任一项所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述P型高纯锗晶体的杂质浓度为线性变化的。
9.根据权利要求8所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述P型高纯锗晶体的杂质浓度在0.5×1010厘米-3~1.0×1010厘米-3之间线性变化。
10.根据权利要求1~4任一项所述的高纯锗探测器,其特征在于,所述保护电极为:内径为0.4毫米、外径为0.6毫米的环形槽结构。
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