[发明专利]一种离子注入机上进出料的切换装置

权利要求书

1.一种离子注入机上进出料的切换装置，包括矩形的基座(1)，其特征在于：基座(1)的中部成型有贯穿基座(1)上、下端面的球面形卡槽(11)，球面形卡槽(11)内插接有承载座(2)，承载座(2)的外端面呈球面形并抵靠在球面形卡槽(11)的内壁上；所述承载座(2)前端的外壁上插接固定有旋转轴，旋转轴的前端插设在基座(1)内并和旋转气缸(3)的活塞杆相固接，旋转气缸(3)固定在基座(1)的前端面上；所述承载座(2)上端面的中心成型有贯穿承载座(2)右侧端面的上安置槽(21)，上安置槽(21)的左侧内壁上成型有上限位槽(22)，上限位槽(22)的左侧内壁上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的上推料槽(23)，基座(1)的右侧外壁上成型有与上安置槽(21)相对的进料槽(12)；

所述承载座(2)的下端面上成型有贯穿承载座(2)左侧外壁的下安置槽(24)，下安置槽(24)的右侧内壁上成型有下限位槽(25)，下限位槽(25)的右侧内壁上成型有贯穿承载座(2)右侧外壁的下推料槽(26)，所述基座(1)的右侧外壁上成型有与下推料槽(26)相对的出料槽(13)，基座(1)的出料槽(13)内插接有L型的推料板(5)，推料板(5)的右侧固定连接有推料气缸(6)，推料气缸(6)的活塞杆穿过推料板(5)固定在侧支架板(7)上；所述球面形卡槽(11)前、后侧的基座(1)下端面上成型有竖直的支撑座(14)，侧支架板(7)的两端固定在支撑座(14)上。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述基座(1)的支撑座(14)成型有若干矩形的槽孔(15)，槽孔(15)的下底面上成型有贯穿支撑座(14)下端面的安装孔(16)。

3.根据权利要求2所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述承载座(2)外壁的直径等于基座(1)内球面形卡槽(11)内壁的直径，承载座(2)的上、下端面分别与基座(1)的上、下端面相齐平。

4.根据权利要求3所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述支撑座(14)下端面至基座(1)下端面的距离大于承载座(2)外壁的半径。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述承载座(2)上的上安置槽(21)底面、上限位槽(22)的底面和基座(1)上进料槽(12)的下底面在同一平面内，下安置槽(24)的底面的和下限位槽(25)的底面在同一平面内。

6.根据权利要求5所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述承载座(2)上的上推料槽(23)宽度小于上限位槽(22)的宽度，下限位槽(25)的宽度大于下推料槽(26)的宽度。

7.根据权利要求1所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述旋转气缸(3)的旋转角度为180度，承载座(2)的下侧设有输送带。

8.根据权利要求1所述的一种离子注入机上进出料的切换装置，其特征在于：所述基座(1)的右侧外壁上固定有进料槽(12)相对的进料槽板(4)，进料槽板(4)的下端面固定有斜支撑(8)，斜支撑(8)的下端固定在基座(1)的右侧外壁上。