[发明专利]一种用于改善高温炉微波均匀性的平板孔阵馈能结构

权利要求书

1.一种用于改善高温炉微波均匀性的平板孔阵馈能结构，其特征在于，它包括依次连通的馈能波导（1）、阻抗匹配结构（2）、大尺寸微波馈能谐振腔（3）、微波扩散结构（5）和微波作用腔（6）；微波作用腔（6）内设置有高温炉窑结构（7），高温炉窑结构（7）内设有待加热物料（8）；

所述的阻抗匹配结构（2）位于馈能波导（1）与大尺寸微波馈能谐振腔（3）之间，用于对馈能波导（1）与微波作用腔（6）进行阻抗匹配，减小反射，使微波能量从馈能波导（1）馈入微波作用腔（6）；

平板孔阵结构（4）设置在大尺寸微波馈能谐振腔（3）与微波作用腔（6）之间，平板孔阵结构（4）的金属表面上开设有若干个孔，用于将微波均匀地从大尺寸微波馈能谐振腔（3）馈入微波作用腔（6）中；

微波扩散结构（5）位于大尺寸微波馈能谐振腔（3）与高温炉（7）之间，可使经过大尺寸微波馈能谐振腔（3）及平板孔阵结构（4）分散后的微波能量通过微波扩散结构（5）再次分散后进入高温炉（7）。

2.根据权利要求1所述的一种用于改善高温炉微波均匀性的平板孔阵馈能结构，其特征在于，大尺寸微波馈能谐振腔（3）的尺寸比馈能波导（1）大，用于将从微波能量从较集中的馈能波导（1）分散至较大的区域；大尺寸微波馈能谐振腔（3）的厚度大于半个微波波长。

3.根据权利要求1所述的一种用于改善高温炉微波均匀性的平板孔阵馈能结构，其特征在于，微波作用腔（6）与大尺寸微波馈能谐振腔（3）连接，微波能量经过馈能结构将微波能量分散开后，通过馈能波导（1）1进入微波作用腔（6）。

4.根据权利要求1所述的一种用于改善高温炉微波均匀性的平板孔阵馈能结构，其特征在于，高温炉窑结构（7）加热温度1000℃-1100°C。