[发明专利]三电极式气体传感器及其制备方法和检测方法

权利要求书

1.一种三电极式气体传感器，其特征在于，包括第一电极、包裹在所述第一电极表面的气敏层以及分别位于所述气敏层的两个相对表面上的叉指电极、加热电极，所述气敏层上设置有用于引出所述第一电极的外接口，所述叉指电极包括第二电极、与所述第二电极相配合的第三电极。

2.根据权利要求1所述的三电极式气体传感器，其特征在于，所述气敏层通过在金属基板表面进行微弧氧化形成，所述金属基板未氧化的部分形成所述第一电极。

3.根据权利要求1所述的三电极式气体传感器，其特征在于，所述叉指电极和加热电极均通过丝网印刷分别形成在所述气敏层的上表面、下表面。

4.根据权利要求1所述的三电极式气体传感器，其特征在于，所述外接口位于所述气敏层的下表面。

5.一种如权利要求1-4中任意一项所述的三电极式气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)提供一金属基板，对金属基板进行预处理；

(2)对金属基板进行加工，分别形成第一电极和气敏层；

(3)在气敏层的两个相对表面分别形成叉指电极、加热电极；

(4)在气敏层上形成外接口。

6.根据权利要求5所述的三电极式气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，加工的方式包括微弧氧化加工、阳极氧化加工、等离子喷涂加工或磁控溅射加工。

7.根据权利要求5所述的三电极式气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，在气敏层的上表面、下表面均进行丝网印刷分别形成叉指电极、加热电极。

8.根据权利要求5所述的三电极式气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中，用砂纸在气敏层的下表面打磨形成外接口，使第一电极裸露。

9.一种如权利要求1-4中任意一项所述的三电极式气体传感器的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将传感器置于目标气体环境中；

(2)实时采集第一电极与第二电极、第一电极与第三电极、第二电极与第三电极之间的电信号值，制成响应数据表；

(3)将制成的响应数据表与标准数据表进行对比，判断出气体的种类。

10.根据权利要求9所述的三电极式气体传感器的检测方法，其特征在于，所述步骤(2)中，电信号包括电阻、电流、电压、电容、电感中的至少一个。