[发明专利]一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法

权利要求书

1.一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）配制金属料件，所述金属料件为铝或铝合金；（2）将配制好的金属料件投入熔炼炉中，控制熔炼温度在750℃-780℃，并利用高纯氩气进行除气，得到料件熔体；（3）以高纯氮气作为雾化气体，将熔炼后的料件熔体喷射至位于沉积室内的沉积基板上，喷射完成后将沉积基板取出并进行快速冷却，快速冷却前的沉积基板温度为80-100℃，快速冷却采用水为介质，且沉积基板上的锭坯在水中的停留时间不少于10min；最终得到高纯锭坯；（4）将高纯锭坯加热至150℃-350℃，并在该温度下进行保温2h-5h后，使用轧机对高纯锭坯进行轧制，得到轧制锭板；（5）对轧制锭板进行热处理，即得到靶材坯料。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：步骤（4）还包括对高纯锭坯进行温度控制；所述温度控制包括在加热及保温处理时，对高纯锭坯的多个位置进行温度测量，并使多个位置的温度差异控制在0-10℃。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于：多个位置的选取采用五点取样法，即首先选定高纯锭坯的中心点为第一测量点，然后在高纯锭坯的对角线上选取四个与第一测量点距离相等的点作为第二测量点。

4.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于：在步骤（4）中，将保温后的高纯锭坯的表面温度控制至40℃-100℃后再进行轧制。

5.根据权利要求2-4任一所述的制作方法，其特征在于：在步骤（3）中，雾化气体的杂质含量不大于2ppm，雾化温度为680℃-730℃；料件熔体的沉积速度为5-15kg/min。

6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于：在步骤（3）与步骤（4）之间，还包括车削高纯锭坯表面的氧化皮。

7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：在步骤（4）中，使用轧机对高纯锭坯进行轧制时，每道次压下量为13mm-30mm，直至轧制锭板的最终厚度为15-25mm。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：每道次压下量为18mm。

9.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：在步骤（5）中，热处理温度为150℃-300℃，热处理时间为0.5h-3h。