[发明专利]一种MEMS糖尿病呼出气检测传感器及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202011006833.0 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112326741A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陈杨;徐甲强;沈兵;罗娜;李润龙 | 申请（专利权）人： | 上海大学;上海摇橹仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 糖尿病 呼出 检测 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种MEMS糖尿病呼出气检测传感器，其特征在于：所用气敏材料为在片状氧化钨表面负载Au单原子。
2.根据权利要求1所述的一种负载Pd的棱状氧化锌，其特征在于：所述Au的负载量为1-5wt％。
3.一种MEMS糖尿病呼出气检测传感器的制备方法，包括：
(1)首先制备WO3，然后在还原气氛下热处理，得到缺陷WO3；
(2)将缺陷WO3分散于金溶液中，超声处理后通过离心获得产物，然后洗涤、干燥，在还原气氛下热处理，得到负载Au单原子的WO3；
(3)将制备的负载Au单原子的WO3和乙醇混合，然后将混合样品滴在MEMS的Pt叉指电极上，在室温下自然干燥后，得到电阻式传感器；随后将制备的传感器烧结；最后，将经过烧结的传感器与加热电极和测试电极一起放置在基座上，制得MEMS糖尿病呼出气检测传感器。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中的热处理温度为500-600℃，热处理时间为60-120min。
5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的热处理温度为200-300℃，热处理时间为60-120min。
6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)和(2)中的还原气氛为氢气或氢气混合气，压力为1～2bar。
7.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的金溶液为氯金酸溶液，浓度为1-2mg/ml。
8.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的缺陷WO3与金的质量比为10-20∶1。
9.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中的烧结温度为150-160℃，烧结时间为5-6h。
10.一种如权利要求1所述的MEMS糖尿病呼出气检测传感器的应用。
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