[发明专利]用于测定墨滴的光学系统

权利要求书

1.一种用于测定墨滴的光学系统，其中，包括：

腔室，安装有被喷出墨滴的基板；

光学测定部，设置在所述腔室外部，并朝向所述基板照射光而测定所述墨滴的状态；

光学部，设置在所述腔室内部，并位于光路径上；以及

保护模组，具备移动部和辊部，所述移动部配置于所述光学部周围并进行升降运动，所述辊部向所述光学部和所述基板之间供应膜。

2.根据权利要求1所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

在所述腔室设置有透明窗口，使得从设置在所述腔室外部的所述光学测定部照射的光能够沿着光路径向设置在所述腔室内部的所述光学部行进。

3.根据权利要求2所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

所述光学测定部、所述透明窗口以及所述光学部向垂直方向设置。

4.根据权利要求1所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

所述移动部包围所述光学部，并借助驱动部而进行升降运动来选择性地接触于所述膜的上面。

5.根据权利要求4所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

在所述移动部的下方还设置有附着部，使得所述移动部的底面和所述膜的上面彼此紧贴，

所述附着部包括多个配线，所述多个配线设置在所述移动部内并被施加电源，使得相对于所述移动部用静电力拉拽所述膜。

6.根据权利要求4所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

在所述移动部的下方还设置有附着部，使得所述移动部的底面和所述膜的上面彼此紧贴，

所述附着部包括粘着部，所述粘着部配置于所述移动部的底面而相对于所述移动部粘着所述膜。

7.根据权利要求4所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

在所述移动部的下方还设置有附着部，使得所述移动部的底面和所述膜的上面彼此紧贴，

所述附着部包括O型环，所述O型环配置在所述移动部的底面，并对所述膜的上面加压。

8.根据权利要求1所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

在所述光学部周围还设置有包围所述光学部的防护部，

所述防护部的下端结合于所述移动部，使得密闭被设置所述光学部的空间。

9.根据权利要求1所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

所述辊部包括：

第一辊，配置在所述光学部的第一侧；以及

第二辊，配置在所述光学部的第二侧，

所述膜介于所述第一辊和所述第二辊之间而向所述光学部的下方移动。

10.根据权利要求1所述的用于测定墨滴的光学系统，其中，

所述光学测定部及所述光学部跨所述基板上的整个区域设置有至少一个。