[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202011007799.9 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112563101A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 村木礼奈;上本敦;麻畑达也 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种带电粒子束装置，其从试样中自动地制作试样片，其中，
所述带电粒子束装置具备：
带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；
试样载台，其载置所述试样而移动；
试样片移设单元，其保持从所述试样中分离并摘出的所述试样片而进行输送；
支架固定台，其保持用于移设所述试样片的试样片支架；以及
计算机，其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对所述位置的第2判定的结果、以及包括通过所述带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息，进行所述位置的控制。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，
所述第1判定是基于使用了针对所述对象物的模板的模板匹配而进行的判定，
所述第2判定是基于学习包括第2对象物的第2图像在内的第2信息得到的机器学习的模型而进行的判定。
3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其中，
所述计算机根据用于选择判定的种类的第3判定的结果，针对所述第1判定和所述第2判定中的至少一方而选择所述种类。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，
所述计算机根据基于所述第1判定的结果和所述第2判定的结果中的至少一方而选择的第4判定的结果、以及包括通过所述带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息，进行所述位置的控制。
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